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1. (WO2005065246) DISPOSITIFS D'ECLAIRAGE ET PROCEDES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/065246 N° de la demande internationale : PCT/US2004/043129
Date de publication : 21.07.2005 Date de dépôt international : 17.12.2004
CIB :
G02B 6/32 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6
Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
24
Couplage de guides de lumière
26
Moyens de couplage optique
32
ayant des moyens de focalisation par lentilles
Déposants :
KLA- TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION [US/US]; One Technology Drive Milpitas, California 95035, US (AllExceptUS)
VAEZ-IRAVANI, Mehdi [US/US]; US (UsOnly)
ZHAO, Guoheng [CN/US]; US (UsOnly)
STOWKOWSKI, Stanley E. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs :
VAEZ-IRAVANI, Mehdi; US
ZHAO, Guoheng; US
STOWKOWSKI, Stanley E.; US
Mandataire :
OLYNICK, Mary, R.; Beyer Weaver & Thomas, LLP 500 12th Street, Suite 200 Oakland, CA 94607, US
Données relatives à la priorité :
11/015,85215.12.2004US
60/533,74129.12.2003US
Titre (EN) ILLUMINATION APPARATUS AND METHODS
(FR) DISPOSITIFS D'ECLAIRAGE ET PROCEDES
Abrégé :
(EN) Disclosed are apparatus and methods for illuminating a sample, e.g., during an inspection of such sample for defects. In one aspect, the illumination apparatus includes a bundle of fibers that each have a first end and a second end. The illumination apparatus further includes an illumination selector for selectively transmitting one or more incident beams into one or more corresponding first ends of the optical fibers so that the selected one or more incident beams are output from one or more corresponding second ends of the fibers. The illumination apparatus also includes a lens arrangement for receiving the selected one or more incidents beams output from the corresponding one or more second ends of the fibers and directing the selected one or more incident beams towards the sample. The lens arrangement and the fibers are arranged with respect to each other so as to image an imaging plane of the sample at the second ends of the fibers. In one aspect, the incident beams are laser beams. In a specific application of the invention, the sample is selected from a group consisting of a semiconductor device, a semiconductor wafer, and a semiconductor reticle.
(FR) L'invention concerne des dispositifs d'éclairage et des procédés pour l'éclairage d'échantillon, par exemple durant l'inspection d'échantillon visant à détecter des défauts. Selon un aspect, le dispositif comprend un faisceau de fibres optiques ayant chacun des première et seconde extrémités ; un sélecteur sélectif de transmission d'un ou plusieurs faisceaux dans une ou plusieurs premières extrémités correspondantes de fibre, aux fins de sortie à une ou plusieurs secondes extrémités correspondantes de fibre ; système de lentille de réception du ou des faisceaux depuis la sortie considérée et orientation vers l'échantillon. Le système de lentille et les fibres sont en relation réciproque permettant l'imagerie de plan d'imagerie d'échantillon aux secondes extrémités de fibre. Selon un aspect, les faisceaux incidents sont des faisceaux laser. Selon une application spécifique, l'échantillon peut être dispositif à semi-conducteur, plaquette en semi-conducteur et réticule en semi-conducteur.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
JP2007517230