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1. (WO2005064701) COMPOSANT ELECTRONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/064701    N° de la demande internationale :    PCT/IB2004/052868
Date de publication : 14.07.2005 Date de dépôt international : 20.12.2004
CIB :
H01G 5/16 (2006.01), H01H 1/00 (2006.01), H01H 57/00 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GW, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NA, NE, NI, NL, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW only).
PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH [DE/DE]; Steindamm 94, 20099 Hamburg (DE) (DE only).
KLEE, Mareike, K. [DE/DE]; (NL) (US Seulement).
RIJKS, Theodoor, G., S., M. [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
LOK, Pieter [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
MAUCZOK, Ruediger, G. [DE/DE]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : KLEE, Mareike, K.; (NL).
RIJKS, Theodoor, G., S., M.; (NL).
LOK, Pieter; (NL).
MAUCZOK, Ruediger, G.; (NL)
Mandataire : ELEVELD, Koop, J.; Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
03104892.9 22.12.2003 EP
Titre (EN) ELECTRONIC DEVICE
(FR) COMPOSANT ELECTRONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The microelectromechanical system (MEMS) element (101) comprises a first electrode (31) that is present on a surface of a substrate (30) and a movable element (40), which overlies at least partially the first electrode (31) and comprises a piezoelectric actuator, which movable element (40) is movable towards and from the substrate (30) by application of an actuation voltage between a first and a second position, in which the first position is separated from the substrate (30) by a gap. The piezoelectric actuator comprises a piezoelectric layer (25) which opposite surfaces is provided with a second and a third electrode (21,22) respectively, said second electrode (21) facing the substrate (30) and said third electrode (22) forming an input electrode of the MEMS element (101), so that a current path through the MEMS element (101) comprises the piezoelectric layer . The microelectromechanical system (MEMS) element (101) comprises a first electrode (31) that is present on a surface of a substrate (30) and a movable element (40). This overlies at least partially the first electrode (31) and comprises a piezoelectric actuator, which movable element (40) is movable towards and from the substrate (30) by application of an actuation volatge between a first and a second poistion, in which first position it is separated from the substrate (30) by a gap. Herein the piezoelectric actuator comprises a piezoelectric layer (25) that is on opposite surfaces provided with a second and a third electrode (21,22) respectively, said second electrode (21) facing the substrate (30) and said third electrode (22) forming an input electrode of the MEMS element (101), so that a current path between through the MEMS element (101), comprises the piezoelectric layer (25) and the tunable gap.
(FR)L'invention concerne un composant électronique pourvu d'un élément (101) de système microélectromécanique (MEMS) comportant une première électrode (31) située sur une surface d'un substrat (30) et un élément mobile (40). Ce dernier recouvre au moins partiellement la première électrode (31) et comprend un actionneur piézoélectrique, ledit élément mobile (40) étant mobile en direction et à partir du substrat (30), par application d'une tension d'actionnement, entre une première et une deuxième position, première position dans laquelle il est séparé du substrat (30) par un entrefer. L'actionneur piézoélectrique possède une couche piézoélectrique (25), laquelle est, sur des surfaces opposées, pourvue respectivement d'une deuxième et d'une troisième électrode (21, 22), ladite deuxième électrode (21) faisant face au substrat (30) et ladite troisième électrode (22) formant une électrode d'entrée de l'élément MEMS (101), de sorte qu'un trajet de courant passant par ledit élément MEMS (101) englobe la couche piézoélectrique (25) et l'entrefer réglable.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)