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1. (WO2005064679) TRANCHE COMPORTANT DES MODULES DE CONTROLE OPTIQUE DANS DES ZONES DE CIRCUIT INTEGRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/064679 N° de la demande internationale : PCT/IB2004/052724
Date de publication : 14.07.2005 Date de dépôt international : 09.12.2004
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/78 (2006.01) ,H01L 23/544 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
70
Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun, ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci; Fabrication de dispositifs à circuit intégré ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci
77
Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun
78
avec une division ultérieure du substrat en plusieurs dispositifs individuels
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
23
Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
544
Marques appliquées sur le dispositif semi-conducteur, p.ex. marques de repérage, schémas d'essai
Déposants :
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1 NL-5621 BA Eindhoven, NL (AllExceptUS)
SCHEUCHER, Heimo [AT/AT]; AT (UsOnly)
Inventeurs :
SCHEUCHER, Heimo; AT
Mandataire :
RÖGGLA, Harald; Philips Intellectual Property & Standards Triester Strasse 64 A-1101 Vienna, AT
Données relatives à la priorité :
03104956.223.12.2003EP
Titre (EN) WAFER WITH OPTICAL CONTROL MODULES IN IC FIELDS
(FR) TRANCHE COMPORTANT DES MODULES DE CONTROLE OPTIQUE DANS DES ZONES DE CIRCUIT INTEGRE
Abrégé :
(EN) In a wafer (1) with a number of exposure fields (2), each of which exposure fields comprises a number of lattice fields (3) with an IC (4) located therein, two groups (5, 7) of saw paths (6, 8) are provided and two control module fields (A1, A2, B1, B2, Cl, C2, D1, D2) are assigned to each exposure field, each of which control module fields contains at least one optical control module (OCM-Al, OCM-A2, OCM-B1, OCM-B2, OCM-Cl, OCM-C2, OCM-Dl, OCM-D2) and lies within the exposure field in question and comprises a plurality of control module field sections (A11, A12………….. AIN and A21, A22………………. A2N and B11, B12,……….B1N and B21, B22,……… B2N and C1N and C2N and D1N and D2N) and is distributed among several lattice grids (3), wherein each control module field section (A11 to D2N) is located in a lattice field and contains at least one control module component (10,11,12,13,14,15,16,17,18).
(FR) L'invention concerne une tranche (1) comportant un certain nombre de zones d'exposition (2) comprenant chacune un certain nombre de zones de quadrillage (3) dans lesquelles est situé un circuit intégré (4). Dans cette tranche (1), deux groupes (5, 7) de lignes de sciage (6, 8) sont prévus et deux zones de module de contrôle (A1, A2, B1, B2, C1, C2, D1, D2) sont affectées à chaque zone d'exposition (2), chacune desquelles zones de module de contrôle (A1, A2, B1, B2, C1, C2, D1, D2) contient au moins un module de contrôle optique (OCM-A1, OCM-A2, OCM-B1, OCM-B2, OCM-C1, OCM-C2, OCM-D1, OCM-D2), se trouve à l'intérieur de la zone d'exposition (2) en question, comprend une pluralité de sections de zone de module de contrôle (A11, A12 .. A1N et A21, A22 . A2N et B11, B12, .B1N et B21, B22, B2N et C1N et C2N et D1N et D2N) et est répartie parmi plusieurs zones de quadrillage (3), chaque section de zone de module de contrôle (A11 à D2N) étant située dans une zone de quadrillage (3) et contenant au moins un composant de module de contrôle (10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18).
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
KR1020060111611EP1700341JP2007516619US20070158798CN1898797