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1. (WO2005064648) COLLECTEUR DE SECHAGE AVEC ROUE DE BORD
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/064648 N° de la demande internationale : PCT/US2004/042871
Date de publication : 14.07.2005 Date de dépôt international : 20.12.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 18.10.2005
CIB :
H01L 21/00 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683
pour le maintien ou la préhension
687
en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
Déposants :
LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538, US (AllExceptUS)
DAVIS, Glenn, W. [US/US]; US (UsOnly)
WOODS, Carl [US/US]; US (UsOnly)
PARKS, John [US/US]; US (UsOnly)
REDEKER, Fred, C. [US/US]; US (UsOnly)
RAVKIN, Mike [US/US]; US (UsOnly)
ORBOCK, Michael, L. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs :
DAVIS, Glenn, W.; US
WOODS, Carl; US
PARKS, John; US
REDEKER, Fred, C.; US
RAVKIN, Mike; US
ORBOCK, Michael, L.; US
Mandataire :
VON WOHLD, Rick; Martine & Penilla, LLP 710 Lakeway Drive Suite 200 Sunnyvale, CA 94085, US
Données relatives à la priorité :
10/745,21922.12.2003US
Titre (EN) EDGE WHEEL DRY MANIFOLD
(FR) COLLECTEUR DE SECHAGE AVEC ROUE DE BORD
Abrégé :
(EN) A apparatus for drying a substrate (10) includes a vacuum manifold (120) positioned adjacent to an edge wheel (102). The edge wheel includes an edge wheel groove (104) for receiving a peripheral edge of a substrate, and the edge wheel is capable of rotating the substrate at a desired set velocity. The vacuum manifold includes a proximity end (126) having one or more vacuum ports (128) defined therein. The proximity end is positioned at least partially within the edge wheel groove, and using supplied vacuum removes fluids that accumulate in the edge wheel groove and prevents re-deposit of trapped fluids around the peripheral edge of the substrate.
(FR) L'invention concerne un appareil destiné à sécher un substrat (10) et comprenant un collecteur à vide (120) disposé au voisinage d'une roue de bord (102). La roue de bord comporte une rainure de roue de bord (104) destinée à recevoir un bord périphérique d'un substrat, cette roue de bord permettant de faire tourner le substrat à une vitesse établie souhaitée. Le collecteur à vide comprend une extrémité proximale (126) possédant un ou plusieurs orifices de vide (128) définis dans celle-ci. L'extrémité proximale est disposée au moins partiellement à l'intérieur de la rainure de roue de bord et permet d'enlever les liquides s'accumulant dans la rainure de roue de bord au moyen du vide produit et d'empêcher un nouveau dépôt des liquides piégés autour du bord périphérique du substrat.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
KR1020060123379IL176467EP1697969JP2007515810CN1898773