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1. (WO2005064639) FABRICATION D'UN ENSEMBLE DE NANOFILS SEMI-CONDUCTEURS, ET COMPOSANT ELECTRIQUE COMPORTANT UN ENSEMBLE DE NANOFILS

Pub. No.:    WO/2005/064639    International Application No.:    PCT/IB2004/052651
Publication Date: 14 juil. 2005 International Filing Date: 3 déc. 2004
IPC: C01B 31/02
G01N 33/543
Applicants: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.
BAKKERS, Erik, P., A., M.
FEINER, Louis, F.
BALKENENDE, Abraham, R.
Inventors: BAKKERS, Erik, P., A., M.
FEINER, Louis, F.
BALKENENDE, Abraham, R.
Title: FABRICATION D'UN ENSEMBLE DE NANOFILS SEMI-CONDUCTEURS, ET COMPOSANT ELECTRIQUE COMPORTANT UN ENSEMBLE DE NANOFILS
Abstract:
Selon l'invention, le procédé pour fabriquer un ensemble de nanofils semi-conducteurs (10) d'un diamètre souhaité (d) comporte les étapes consistant à créer un ensemble de nanofils semi-conducteurs préfabriqués (10'), au moins un nanofil semi-conducteur préfabriqué présentant un diamètre (d') supérieur au diamètre souhaité (d),et à réduire le diamètre du au moins un nanofil préfabriqué (10')par gravure, cette dernière étant induite par de la lumière absorbée par le au moins un nanofil préfabriqué (10'),le spectre de ladite lumière étant sélectionné de sorte que son absorption par ledit au moins un nanofil préfabriqué soit notablement réduite lorsque ce dernier atteint le diamètre souhaité (d). Le composant électrique (100) peut comprendre un ensemble de nanofils (10) présentant le diamètre souhaité (d). L'appareil (29)peut être utilisé pour mettre en oeuvre le procédé selon l'invention.