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1. (WO2005064406) SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/064406 N° de la demande internationale : PCT/EP2004/014336
Date de publication : 14.07.2005 Date de dépôt international : 15.12.2004
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen, DE (AllExceptUS)
KRÄHMER, Daniel [DE/DE]; DE (UsOnly)
EVA, Eric [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs :
KRÄHMER, Daniel; DE
EVA, Eric; DE
Mandataire :
SCHORR, Frank ; Diehl & Partner Augustenstrasse 46 80333 München, DE
Données relatives à la priorité :
10/743,81524.12.2003US
Titre (EN) PROJECTION OPTICAL SYSTEM
(FR) SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION
Abrégé :
(EN) Radiation-induced damage to a lens material in a projection exposure system is reduced by selection of maximum design fluence values HD for lenses and at least one lens made of a material having a characteristic transition point TRC after exposure to a given amount of radiation, wherein, for instance, TRC < 0.8. HD among other relationships and/or characteristics of the lenses.
(FR) Il est possible de réduire la détérioration liée au rayonnement à un matériau d'objectif dans un système d'exposition de projection par la sélection de valeurs maximales nominales de fluence de particules HD pour des objectifs et au moins un objectif réalisé en un matériau présentant un point de transition caractéristique TRC après exposition à une quantité de donnée de rayonnement, dans lequel, par exemple, TRC < 0.8. HD entre autres relations et/ou caractéristiques des objectifs.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)