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1. (WO2005064404) APPAREIL DE REMPLACEMENT POUR ELEMENT OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/064404 N° de la demande internationale : PCT/EP2004/013576
Date de publication : 14.07.2005 Date de dépôt international : 30.11.2004
CIB :
G02B 7/00 (2006.01) ,G02B 7/02 (2006.01) ,G02B 7/14 (2006.01) ,G02B 13/14 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
7
Montures, moyens de réglage ou raccords étanches à la lumière pour éléments optiques
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
7
Montures, moyens de réglage ou raccords étanches à la lumière pour éléments optiques
02
pour lentilles
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
7
Montures, moyens de réglage ou raccords étanches à la lumière pour éléments optiques
02
pour lentilles
14
équipées de lentilles interchangeables
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
13
Objectifs optiques spécialement conçus pour les emplois spécifiés ci-dessous
14
à utiliser avec des radiations infrarouges ou ultraviolettes
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen, DE (AllExceptUS)
KUGLER, Jens [DE/DE]; DE (UsOnly)
SORG, Franz [DE/DE]; DE (UsOnly)
WURMBRAND, Andreas [DE/DE]; DE (UsOnly)
ITTNER, Thomas [DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHLETTERER, Thomas [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs :
KUGLER, Jens; DE
SORG, Franz; DE
WURMBRAND, Andreas; DE
ITTNER, Thomas; DE
SCHLETTERER, Thomas; DE
Mandataire :
LORENZ, Werner; Alte Ulmer Str. 2 89522 Heidenheim, DE
Données relatives à la priorité :
103 61 441.923.12.2003DE
Titre (EN) REPLACEMENT APPARATUS FOR AN OPTICAL ELEMENT
(FR) APPAREIL DE REMPLACEMENT POUR ELEMENT OPTIQUE
Abrégé :
(EN) A replacement apparatus for an optical element mounted be­tween two adjacent optical elements (2) in a lithography objec­tive (1) has a holder (5) for the optical element (2a) to be replaced, which holder (5) can be moved into the lithography objective (1) through a lateral opening (6) in a housing (1a) of the same.
(FR) Un appareil de remplacement pour élément optique monté entre deux éléments optiques adjacents (2) dans un objectif de lithographie (1) comprend un support (5) pour l'élément optique à remplacer (2a), ledit support (5) pouvant être déplacé vers l'objectif de lithographie (1) via une ouverture latérale (6) dans un boîtier (1a) correspondant.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
KR1020060111597EP1700167JP2007515797US20050134972US20070297074US20090168207
CN1898610CN101614967US20150070789US20160041475