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1. (WO2005062826) PROCEDE ET APPAREIL DE METROLOGIE EN CHIFFRES ABSOLUS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/062826 N° de la demande internationale : PCT/US2004/042705
Date de publication : 14.07.2005 Date de dépôt international : 20.12.2004
CIB :
G01B 9/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9
Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02
Interféromètres
Déposants :
ZYGO CORPORATION [US/US]; 21 Laurel Brook Road Middlefield, CT 06455-0448, US (AllExceptUS)
DECK, Leslie, L. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs :
DECK, Leslie, L.; US
Mandataire :
FEIGENBAUM, David, L.; Fish & Richardson P.C. 225 Franklin Street Boston, MA 02110-2804, US
Données relatives à la priorité :
60/530,50618.12.2003US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR ABSOLUTE METROLOGY
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE METROLOGIE EN CHIFFRES ABSOLUS
Abrégé :
(EN) An apparatus including: an interferometer (100) comprising a series of three partially reflective reference surfaces, wherein the interferometer is configured to direct electromagnetic radiation to a test surface (111) along a path through the series of three partially reflective reference surfaces, and direct the electromagnetic radiation reflected from each of the surfaces to form an optical interference pattern on a detector (140) , wherein the interferometer comprises a first reference optic (120) supporting the first reference surface (121) and a second reference optic (101) supporting the second (102) and third (103) reference surfaces, and wherein the second reference optic is configured to adjustably rotate to exchange an order of the second and third reference surfaces along the path relative to the first reference surface.
(FR) La présente invention concerne un appareil qui comprend: un interféromètre comportant une série de trois surfaces de référence au moins partiellement réfléchissantes, ledit interféromètre étant configuré pour envoyer un rayonnement électromagnétique sur une surface d'essai sur un trajet traversant la série des trois surfaces de référence partiellement réfléchissantes et envoyer le rayonnement électromagnétique réfléchi par chacune des surfaces pour former un diagramme d'interférence optique sur un détecteur. L'interféromètre comprend une première optique de référence supportant la première surface de référence et une deuxième optique de référence supportant les deuxième et troisième surfaces de référence, ladite deuxième optique étant configurée pour tourner de manière réglable afin de modifier l'ordre des deuxième et troisième surfaces de référence sur le trajet par rapport à la première surface de référence.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)