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1. (WO2005062762) PROCEDE DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR AVEC DE NOUVEAUX PRECURSEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/062762 N° de la demande internationale : PCT/US2004/041754
Date de publication : 14.07.2005 Date de dépôt international : 14.12.2004
CIB :
B05D 5/12 (2006.01) ,C23C 16/00 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
05
PULVÉRISATION OU ATOMISATION EN GÉNÉRAL; APPLICATION DE LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
D
PROCÉDÉS POUR APPLIQUER DES LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
5
Procédés pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides aux surfaces pour obtenir des effets, finis ou des structures de surface particuliers
12
pour obtenir un revêtement ayant des propriétés électriques spécifiques
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
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Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
Déposants :
SUPERPOWER, INC. [US/US]; 450 Duane Avenue Schenectady, NY 12304, US (AllExceptUS)
Inventeurs :
SELVAMANICKAM, Venkat; US
Mandataire :
TOLER, LARSON & ABEL, LLP ET AL. ; 5000 Plaza On The Lake Suite 265 Austin, TX 78746, US
Données relatives à la priorité :
10/736,21015.12.2003US
Titre (EN) CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS USING NOVEL PRECURSORS
(FR) PROCEDE DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR AVEC DE NOUVEAUX PRECURSEURS
Abrégé :
(EN) In a chemical vapor deposition process simple precursors such as a rare earth nitrate or acetate, Ba-nitrate or acetate and Cu-nitrate or acetate are dissolved in an appropriate solvent, preferably water, to form a solution, nebulized into a fine mist and applied to a substrate.
(FR) La présente invention concerne un procédé de dépôt chimique en phase vapeur dans lequel on utilise des précurseurs simples tels que nitrate ou acétate, de terre rare, de baryum ou de cuivre. Ces sels sont dissous dans un solvant approprié, de préférence l'eau, de façon à former une solution, puis nébulisé en un fin brouillard appliqué à un substrat.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)