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1. (WO2005062060) CAPTEUR D'ACCELERATION A 3 AXES DE TYPE A SEMI-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/062060 N° de la demande internationale : PCT/JP2004/019326
Date de publication : 07.07.2005 Date de dépôt international : 24.12.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 10.06.2005
CIB :
G01P 15/12 (2006.01) ,G01P 15/18 (2013.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
P
MESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15
Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02
en ayant recours aux forces d'inertie
08
avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
12
par modification d'une résistance électrique
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
P
MESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15
Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
18
dans plusieurs dimensions
Déposants :
日立金属株式会社 HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 〒1058614 東京都港区芝浦一丁目2番1号 Tokyo 2-1, Shibaura 1-chome Minato-ku, Tokyo 105-8614, JP (AllExceptUS)
武鎗 徳久 TAKEYARI, Tokuhisa [JP/JP]; JP (UsOnly)
池田 由夫 IKEDA, Yoshio [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs :
武鎗 徳久 TAKEYARI, Tokuhisa; JP
池田 由夫 IKEDA, Yoshio; JP
Mandataire :
森田 寛 MORITA, Hiroshi; 〒1160013 東京都荒川区西日暮里5丁目11番8号 三共セントラルプラザビル5階 開明国際特許事務所 Tokyo Kaimei Patent Office, Sankyo Central Plaza Building 5F, 11-8, Nishi-Nippori 5-chome, Arakawa-ku, Tokyo 1160013, JP
Données relatives à la priorité :
2003-42787124.12.2003JP
2004-35989013.12.2004JP
Titre (EN) SEMICONDUCTOR TYPE 3-AXIS ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ACCELERATION A 3 AXES DE TYPE A SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体型3軸加速度センサ
Abrégé :
(EN) There is provided a semiconductor type 3-axis acceleration sensor having a high shock resistance, a small difference between outputs of piezoeresistance elements of X-axis, Y-axis, and Z-axis, a mall size, a high sensitivity, and a high output. A flexible arm is formed by a flexible-width wide unit and a flexible parallel unit. The flexible-width wide unit has the maximum stress portion and the piezoeresistance element is arranged on the upper surface of the flexible arm so that one end of the piezoeresistance element is arranged on the maximum stress portion. The Z-axis piezoeresistance element is arranged in the vicinity of the width center line of the flexible arm while the X-axis and Y-axis piezoelectric elements are arranged apart from the width center line. Moreover, the Z-axis piezoeresistance element is shifted in the length direction of the flexible arm from the maximum stress portion so as to reduce the output difference between the X-axis, Y-axis, and Z-axis piezoeresistance elements.
(FR) La présente invention se rapporte à un capteur d'accélération à 3 axes de type à semi-conducteur, qui présente une résistance aux chocs élevée, une faible différence entre les sorties d'éléments piézorésistifs d'axe X, d'axe Y et d'axe Z, une taille réduite, une forte sensibilité, et un rendement élevé. Un bras souple est formé d'une unité large de largeur souple et d'une unité parallèle souple. L'unité large de largeur souple possède une partie de contrainte maximale, et l'élément piézorésistif est disposé sur la surface supérieure du bras souple, de façon que l'une des extrémités de l'élément piézorésistif soit placée sur la partie de contrainte maximale. L'élément piézorésistif d'axe Z est disposé à proximité de la ligne centrale dans le sens de la largeur du bras souple, tandis que les éléments piézoélectriques d'axe X et d'axe Y sont placés à distance de la ligne centrale dans le sens de la largeur. En outre, l'élément piézorésistif d'axe Z est décalé par rapport à la partie de contrainte maximale, dans le sens de la longueur du bras souple, de façon que soit réduite la différence de sortie entre les éléments piézorésistifs d'axe X, d'axe Y et d'axe Z.
(JA)  耐衝撃性が高く、X軸、Y軸およびZ軸ピエゾ抵抗素子の出力の差が小さく、小型で高感度、高出力の半導体型3軸加速度センサを提供する。  可撓腕が可撓幅広部と可撓平行部で構成され、可撓幅広部に最大応力部があり、最大応力部にピエゾ抵抗素子の一端が来るように可撓腕上面上にピエゾ抵抗素子を設ける。可撓腕の幅中心線の近傍にZ軸ピエゾ抵抗素子、幅中心線から離れてX軸/Y軸ピエゾ抵抗素子を設ける。また、最大応力部から可撓腕の長さ方向にZ軸ピエゾ抵抗素子をずらすことで、X軸とY軸、Z軸ピエゾ抵抗素子間の出力差を小さくする。
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Japonais (JA)
Langue de dépôt : Japonais (JA)
Également publié sous:
KR1020060126741US20070089514CN1898571