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1. (WO2005061986) DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE DESTINE A DES MESURES DE SURFACE HETERODYNINTERFEROMETRIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/061986    N° de la demande internationale :    PCT/DE2004/002366
Date de publication : 07.07.2005 Date de dépôt international : 23.10.2004
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01), G01N 21/45 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Suttgart (DE) (Tous Sauf US).
MARCHAL, Dominique [FR/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : MARCHAL, Dominique; (CH)
Données relatives à la priorité :
103 60 078.7 20.12.2003 DE
Titre (DE) OPTISCHE MESSVORRICHTUNG FÜR HETERODYNINTERFEROMETRISCHE OBERFLÄCHENMESSUNGEN
(EN) OPTICAL MEASURING DEVICE FOR HETERODYN INTERFEROMETRIC SURFACE MEASUREMENTS
(FR) DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE DESTINE A DES MESURES DE SURFACE HETERODYNINTERFEROMETRIQUES
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Messvorrichtung für heterodyninterferometrische Oberflächenmessungen mit einem Modulationsinterferometer (4), einer mit diesem verbundenen Messsondenanordnung und einer Empfängervorrichtung, in der die aus der interferierenden Strahlung erhaltenen Signale ausgewertet werden. Ein einfacher, gut handhabbarer Aufbau wird dadurch erreicht, dass zum Einführen einer Eingangsstrahlung in das Modulationsinterferometer (4) und Weiterführen der aus diesem zurückgeführten Teilstrahlen (4.8, 4.9) zu der Messsondenanordnung (6) ein richtungsabhängiger Koppler (3) vorhanden ist, dass in dem Modulationsinterferometer (4) hinter dem Koppler (3) ein gemeinsamer Lichtweg gebildet ist, über den die Eingangsstrahlung zu einem teilreflektierenden optischen Element (4.2) zum Aufteilen in die mindestens zwei Teilstrahlen (4.8, 4.9) geführt ist, von denen ein Teilstrahl (4.8) an dem Element (4.2) reflektiert und über den gemeinsamen Lichtweg zurückgeführt ist und ein weiterer Teilstrahl (4.9) an einem entsprechend der optischen Wegdifferenz (L) nachgeordneten Spiegel (4.5) reflektiert und über das Element (4.2) in den gemeinsamen Lichtweg zurückgeführt ist .
(EN)The invention relates to an optical measuring device for heteryodyn interferometric surface measurements, comprising a modulation interferometer (4), a measuring arrangement connected thereto and a receiver device wherein the signals contained in the interfering radiation are evaluated. A simple,easy-to-handle construction can be obtained by providing a direction-dependent coupler (3) which injects input radiation into the modulation interferometer (4) and transmits partial beams (4.8, 4.9) reconducted therefrom to the measuring arrangement (6), and by forming a common light path in the modulation interferometer (4) to the rear of the coupler (3), said light path being used to guide the input radiation to a partially reflecting optical element (4.2) for sub-division into at least two partial beams (4.8, 4.9), whereupon a partial beam (4.8) thereof is reflected to the element (4.2) and is reconducted along the common light path and another partial beam (4.9) is reflected to a downstream mirror (4.5) according to the optical path difference (L) and is reconducted to the common light path via the element (4.2).
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure optique destiné à des mesures de surface hétérodyninterférométriques. Ce dispositif comprend un interféromètre modulation (4), un dispositif spécial de mesure relié à ce dernier et un dispositif récepteur dans lequel les signaux obtenus à partir du rayonnement brouilleur sont évalués. L'invention vise à obtenir une construction simple et de manipulation facile. A cet effet, un coupleur (3) fonction de la direction permet d'injecter un rayonnement d'entrée dans l'interféromètre modulation (4) et de retransmettre les rayons partiels (4.8, 4.9) renvoyés à partir de ce dernier vers le dispositif spécial de mesure (6) et de former un trajet lumineux commun dans l'interféromètre modulation (4) derrière le coupleur (3), ce trajet lumineux permettant de guider le rayonnement d'entrée vers un élément optique (4.2) partiellement réfléchissant pour une subdivision en au moins deux rayons partiels (4.8, 4.9), un rayon partiel (4.8) étant réfléchi sur l'élément (4.2) et renvoyé par le trajet lumineux commun et un autre rayon partiel (4.9) étant réfléchi sur un miroir (4,5) en aval par rapport à une différence de trajet optique (L) correspondante et renvoyé par l'élément (4.2) dans le trajet lumineux commun.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)