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1. (WO2005061896) POMPE A VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2005/061896 N° de la demande internationale : PCT/GB2004/005407
Date de publication : 07.07.2005 Date de dépôt international : 23.12.2004
CIB :
F04D 27/02 (2006.01) ,F04D 19/04 (2006.01) ,F04D 17/16 (2006.01) ,F04D 17/12 (2006.01) ,F04D 17/14 (2006.01)
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
D
POMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
27
Commande, p.ex. régulation des pompes, installations ou systèmes de pompage spécialement adaptés aux fluides compressibles
02
Contrôle de l'emballement
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
D
POMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
19
Pompes à flux axial spécialement adaptées aux fluides compressibles
02
Pompes multiétagées
04
spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p.ex. pompes moléculaires
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
D
POMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
17
Pompes à flux radial spécialement adaptées aux fluides compressibles, p.ex. pompes centrifuges; Pompes hélicocentrifuges spécialement adaptées aux fluides compressibles
08
Pompes centrifuges
16
pour déplacement sans compression notable
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
D
POMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
17
Pompes à flux radial spécialement adaptées aux fluides compressibles, p.ex. pompes centrifuges; Pompes hélicocentrifuges spécialement adaptées aux fluides compressibles
08
Pompes centrifuges
10
pour la compression ou l'épuisement
12
Pompes multiétagées
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
D
POMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
17
Pompes à flux radial spécialement adaptées aux fluides compressibles, p.ex. pompes centrifuges; Pompes hélicocentrifuges spécialement adaptées aux fluides compressibles
08
Pompes centrifuges
10
pour la compression ou l'épuisement
12
Pompes multiétagées
14
avec moyens de changer le trajet du flux à travers les étages, p.ex. par des transformations série-parallèle
Déposants :
THE BOC GROUP PLC [GB/GB]; Chertsey Road Windlesham Surrey GU20 6HJ, GB (AllExceptUS)
LIU, Michael, Chung, Kau [GB/GB]; GB (UsOnly)
DOWDESWELL, Stephen [GB/GB]; GB (UsOnly)
SCHOFIELD, Nigel, Paul [GB/GB]; GB (UsOnly)
Inventeurs :
LIU, Michael, Chung, Kau; GB
DOWDESWELL, Stephen; GB
SCHOFIELD, Nigel, Paul; GB
Mandataire :
BOOTH, Andrew, Steven; The BOC Group plc Chertsey Road Windlesham Surrey GU20 6HJ, GB
Données relatives à la priorité :
0329839.523.12.2003GB
Titre (EN) VACUUM PUMP
(FR) POMPE A VIDE
Abrégé :
(EN) A vacuum pumping arrangement is described for evacuating a load lock chamber. A booster pump comprises a molecular drag stage and a multi-stage centrifugal compressor mechanism. A backing pump comprises a multi-stage centrifugal compressor mechanism exhausting pumped fluid at atmospheric pressure. Such arrangements can reduce noise, size and vibration levels associated with conventional load lock pumping arrangements.
(FR) L'invention concerne un dispositif de pompage à vide permettant d'évacuer une chambre de sas de chargement. Une pompe de gavage comprend un étage de traînée moléculaire et un mécanisme de compresseur centrifuge à plusieurs étages. Une pompe de secours comporte un mécanisme de compresseur centrifuge à plusieurs étages qui évacue du liquide pompé à pression atmosphérique. De tels dispositifs permettent de diminuer le bruit, la taille et les niveaux de vibration liés aux dispositifs traditionnels de pompage de sas de chargement.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
KR1020060125813EP1700038JP2007518010US20070274822