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1. (WO2005045403) DISPOSITIF DE MESURE INTERFEROMETRIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/045403    N° de la demande internationale :    PCT/DE2004/001748
Date de publication : 19.05.2005 Date de dépôt international : 04.08.2004
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01), G01N 21/21 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE) (Tous Sauf US).
SEIFFERT, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : SEIFFERT, Thomas; (DE)
Données relatives à la priorité :
103 48 250.4 16.10.2003 DE
Titre (DE) INTERFEROMETRISCHE MESSVORRICHTUNG
(EN) INTERFEROMETRIC DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE INTERFEROMETRIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zur Mes­sung geometrischer Oberflächeneigenschaften mit einer Lichtabgabeeinheit (LQ) zum Erzeugen eines Eingangsstrahls (EST), einem diesen in einem zur Oberfläche eines Objekts geführten Objektstrahl (STO) und einen zu einer Referenz (R) ge­führten Referenzstrahl (STR) aufteilenden Strahlteiler (ST) und einer Aufnahme­einheit (BA, K), der der zurückgeworfene Objektstrahl und der zurückgeworfene Referenzstrahl unter Interferenz miteinander zugeführt werden. Einstellvorgänge der interferometrischen Messvorrichtung werden dadurch begünstigt, dass zu­mindest in den Strahlengang des Referenzstrahles (STR) eine Polfilteranordnung (PFR; PFR1, PFR2) eingefügt ist, mit der die Intensität des Referenzstrahles (STR) zum Ändern des von der Referenz (R) erhaltenen Grauwerts variierbar ist.
(EN)The invention relates to an interferometric device for measuring geometrical surface characteristics. Said interferometric device comprises a light-emitting unit (LQ) for generating an input beam (EST), a beam splitter (ST) which separates said input beam (EST) into an object beam (STO) that is guided to the surface of an object and a reference beam (STR) that is guided to a reference (R), and a recording unit (BA, K) to which the reflected object beam and the reflected reference beam are jointly delivered in an interfering manner. Adjustment processes of the interferometric device are favored by the fact that a pole filter array (PFR; PFR1, PFR2) by means of which the intensity of the reference beam (STR) can be varied in order to modify the gray value obtained by the reference (R) is inserted at least into the reference beam (STR) path.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure interférométrique pour mesurer des caractéristiques de surfaces géométriques au moyen d'un élément émettant de la lumière (LQ) et produisant un rayon incident (EST), d'un séparateur de faisceau (ST) divisant ce rayon incident en un faisceau d'objet (STO) orienté vers la surface de l'objet et en un faisceau de référence (STR) orienté vers une référence (R), ainsi que d'une unité réceptrice (BA, K), vers laquelle sont renvoyés avec interférence mutuelle le faisceau d'objet et le faisceau de référence. Les processus de réglage de ce dispositif de mesure interférométrique sont facilités en ce qu'au moins dans la trajectoire du faisceau de référence (STR) se trouve un ensemble filtre polaire (PFR; PFR1, PFR2) qui permet de moduler l'intensité du faisceau de référence (STR) pour modifier la valeur grise reçue de la référence (R).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)