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1. (WO2005044720) MESURES DE CONCEPTION PERMETTANT DE LIMITER LA PROPAGATION DE FISSURES SUPERFICIELLES DANS DES SYSTEMES MECANIQUES MICROELECTRIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2005/044720 N° de la demande internationale : PCT/DE2004/001954
Date de publication : 19.05.2005 Date de dépôt international : 03.09.2004
CIB :
B81B 3/00 (2006.01) ,G01F 1/692 (2006.01) ,G01L 9/02 (2006.01)
Déposants : FUERTSCH, Matthias[DE/DE]; DE (UsOnly)
WEBER, Heribert[DE/DE]; DE (UsOnly)
GRUEN, Detlef[DE/DE]; DE (UsOnly)
DUELL, Andreas[DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHELLING, Christoph[DE/DE]; DE (UsOnly)
EBERLE-GOUBET, Klaus[DE/DE]; DE (UsOnly)
BAISCH, Joerg[DE/DE]; DE (UsOnly)
ROBERT BOSCH GMBH[DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE (AllExceptUS)
Inventeurs : FUERTSCH, Matthias; DE
WEBER, Heribert; DE
GRUEN, Detlef; DE
DUELL, Andreas; DE
SCHELLING, Christoph; DE
EBERLE-GOUBET, Klaus; DE
BAISCH, Joerg; DE
Données relatives à la priorité :
103 46 576.607.10.2003DE
Titre (EN) LAYOUT MEASURES FOR LIMITING THE PROPAGATION OF SURFACE CRACKS IN MEMS
(FR) MESURES DE CONCEPTION PERMETTANT DE LIMITER LA PROPAGATION DE FISSURES SUPERFICIELLES DANS DES SYSTEMES MECANIQUES MICROELECTRIQUES
(DE) LAYOUTMASSNAHMEN ZUR BEGRENZUNG DER AUSBREITUNG VON OBERFLÄCHENRISSEN IN MEMS
Abrégé : front page image
(EN) The invention relates to a micromechanical component and a method for production of a micromechanical component, comprising at least one first, one second and one third region. The first and the second regions of the micromechanical component preferably have the same layer construction. The third region is arranged between the first and the second region. During use of the micromechanical component, for example, as mounting for a sensor element, cracks can arise in the component. Under unfavorable circumstances, said cracks can become enlarged or propagate on the surface of the micromechanical component. On assembly of the three regions, the third region has a higher susceptibility to crack propagation than the first and/or second regions. According to the invention, the third region and the both other regions are embodied such that crack propagation is preferably stopped in the third region in given positions on the component.
(FR) L'invention concerne un composant micromécanique et un procédé de fabrication d'un composant micromécanique présentant au moins une première, une deuxième et une troisième zone. La première et la deuxième zone du composant micromécanique ont l'avantage de présenter la même structure de couches. La troisième zone est placée entre la première et la deuxième zone. Lors de l'utilisation dudit composant micromécanique, par exemple comme support pour un élément de détection, des fissures peuvent apparaître sur ce composant. En conditions défavorables, ces fissures peuvent s'élargir et/ou se propager à la surface du composant micromécanique. Lors de l'assemblage des trois zones, les fissures ont davantage tendance à se propager sur la troisième zone que sur la première et/ou deuxième zone. Selon la présente invention, la troisième zone et les deux autres zones sont conçues, de sorte que la propagation des fissures est de préférence stoppée dans la troisième zone en des points prédéfinissables sur ledit composant.
(DE) Der Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements, welches wenigstens einen ersten, einen zweiten und einen dritten Bereich aufweist. Der erste und der zweite Bereich des mikromechanischen Bauelements weist dabei vorteilhafterweise den gleichen Schichtaufbau auf. Zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich ist der dritte Bereich angeordnet. Während der Nutzung des mikromechanischen Bauelements beispielsweise als Halterung eines Sensorelements können auf den Bauelement Risse entstehen. Diese Risse können sich unter ungünstigen Umständen auf der Oberfläche des mikromechanischen Bauelements vergrößern bzw. ausbreiten. Beim Aufbau der drei Bereiche ist dabei vorgesehen, dass der dritte Bereich im Vergleich zum ersten und/oder zweiten Bereich höhere Anfälligkeit der Rissausbreitung aufweist. Erfindungsgemäß sind der dritte Bereich und die beiden anderen Bereiche derart gestaltet, dass die Rissausbreitung vorzugsweise im dritten Bereich an vorgebbaren Positionen auf den Bauelement gestoppt wird.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)