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1. (WO2005043613) PORTE-SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2005/043613 N° de la demande internationale : PCT/US2004/035665
Date de publication : 12.05.2005 Date de dépôt international : 27.10.2004
CIB :
C23C 14/50 (2006.01) ,C23C 16/458 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : KEETON, Tony, J.[US/US]; US (UsOnly)
GOODMAN, Matthew, G.[US/US]; US (UsOnly)
STAMP, Michael, R.[US/US]; US (UsOnly)
ASM AMERICA, INC.[US/US]; 3440 E. University Drive Phoenix, AZ 85034-7200, US (AllExceptUS)
Inventeurs : KEETON, Tony, J.; US
GOODMAN, Matthew, G.; US
STAMP, Michael, R.; US
Mandataire : DELANEY, Karoline, A.; Knobbe, Martens, Olson & Bear, LLP 2040 Main Street, 14th Floor Irvine, CA 92614, US
Données relatives à la priorité :
10/697,40129.10.2003US
Titre (EN) SUBSTRATE HOLDER
(FR) PORTE-SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN) A substrate holder for processing a semiconductor substrate that minimizes substrate non-uniformities as well as backside damage. The substrate holder includes one or more support elements, such as a plurality of veins configured in an annular ring to support an outer edge of a substrate. The veins are configured to support a substrate of a particular size in a support plane defined by the top surfaces of the veins. The substrate holder also has one or more annular grooves formed in the top surface of the holder. In a preferred embodiment, the substrate holder also has a raised annular ring positioned radially inward of the grooves and the support elements. The top surface of the raised annular ring is no higher that the top surfaces of the veins.
(FR) Cette invention concerne un porte-substrat servant au traitement d'un substrat semi-conducteur et permettant de réduire au minimum les non-uniformités du substrat ainsi que les dommages causés à la face arrière du substrat. Ce porte-substrat comprend un ou plusieurs éléments de support tels qu'une pluralité de nervures se présentant sous la forme d'une bague annulaire sur laquelle repose le bord extérieur d'un substrat. Les nervures sont conçues pour supporter un substrat d'une certaine taille dans un plan de support défini par les surfaces supérieures des nervures. Le porte-substrat comprend également une ou plusieurs rainures annulaires formées dans la surface supérieure du support. Dans un mode de réalisation préféré de cette invention, le porte-substrat comprend également une bague annulaire surélevée positionnée radialement vers l'intérieur des rainures et des éléments de support. La hauteur de la surface supérieure de la bague annulaire surélevée n'excède pas celle des surfaces supérieures des nervures.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)