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1. (WO2005043079) GYROSCOPE A DIAPASON, A AXE X-Y ET DOUBLE MASSE AVEC ELECRONIQUE A INTEGRATION VERTICALE ET CONDITIONNEMENT HERMETIQUE GRANDEUR PLAQUETTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/043079    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/034431
Date de publication : 12.05.2005 Date de dépôt international : 12.10.2004
CIB :
G01C 19/56 (2006.01)
Déposants : INVENSENSE INC. [US/US]; 2900 Gordon Ave., Suite 203, Santa Clara, CA 95051 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : NASIRI, Steven, S.; (US).
SEEGER, Joseph; (US)
Mandataire : SAWYER, Joseph, A., Jr.; Sawyer Law Group LLP, P.O. Box 51418, Palo Alto, CA 94303 (US)
Données relatives à la priorité :
10/690,224 20.10.2003 US
Titre (EN) X-Y AXIS DUAL-MASS TUNING FORK GYROSCOPE WITH VERTICALLY INTEGRATED ELECTRONICS AND WAFER-SCALE HERMETIC PACKAGING
(FR) GYROSCOPE A DIAPASON, A AXE X-Y ET DOUBLE MASSE AVEC ELECRONIQUE A INTEGRATION VERTICALE ET CONDITIONNEMENT HERMETIQUE GRANDEUR PLAQUETTE
Abrégé : front page image
(EN)An angular velocity sensor has two masses (22,24) which are laterally disposed in an X-Y plane and indirectly connected to a frame (34). The two masses (22,24) are linked together by a linkage (28,56,58) such that they necessarily move in opposite directions along Z. Angular velocity of the sensor about the Y axis can be sensed by driving the two masses (22,24) into Z-directed antiphase oscillation and measuring the angular oscillation amplitude thereby imparted to the frame (34). In a preferred embodiment, the angular velocity sensor is fabricated from a bulk MEMS gyroscope wafer (20), a cap wafer (42) and a reference wafer (44). In a further preferred embodiment, this assembly of wafers provides a hermetic barrier between the masses (22,24) and an ambient environment.
(FR)Un capteur de vitesse angulaire comporte deux masses disposées latéralement dans un plan X-Y, reliées indirectement à un châssis. Les deux masses sont reliées par une tringlerie de sorte qu'elles se déplacent nécessairement dans des directions opposées le long d'une ligne Z. La vitesse angulaire du capteur sur l'axe Y peut être détectée si l'on amène les deux masses dans une oscillation antiphase de direction Z et que l'on mesure l'amplitude de l'oscillation angulaire ainsi appliquée au châssis. Dans un mode de réalisation préféré, le capteur de vitesse angulaire est fabriqué à partir d'une tranche pour gyroscope MEMS brute, une tranche couvercle et une tranche de référence. Dans un autre mode de réalisation préféré, cet ensemble de tranches constitue un écran hermétique entre les masses et le milieu ambiant.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)