WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2005041275) PROCEDE ET SYSTEME DE MANIPULATION DE PLAQUETTES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/041275    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/033120
Date de publication : 06.05.2005 Date de dépôt international : 07.10.2004
CIB :
B65H 1/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; Mail Stop 2, 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930 (US) (Tous Sauf US).
STONE, Stanley, M. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : STONE, Stanley, M.; (US)
Mandataire : BORN, Joseph, H.; Foley Hoag LLP, 155 Seaport Boulevard, Boston, MA 02210-2698 (US)
Données relatives à la priorité :
10/687,023 16.10.2003 US
Titre (EN) WAFER HANDLER METHOD AND SYSTEM
(FR) PROCEDE ET SYSTEME DE MANIPULATION DE PLAQUETTES
Abrégé : front page image
(EN)Systems and methods for handling wafers include retrieving a first wafer from a wafer cassette using a first arm, transferring the first wafer from the first transfer arm to a second arm, delivering the first wafer for processing to a process chamber using the second arm, removing the first wafer from the process chamber using the first arm, and returning the first wafer to the cassette using the first arm. The systems and methods can include retrieving a first wafer from a wafer cassette using a first arm, delivering the first wafer for processing to a process chamber using the first arm, removing a processed wafer from the process chamber using a second arm, returning the processed wafer to the cassette using the second arm, and iteratively retrieving, delivering, removing and returning wafers from the cassette while alternating arms between iterations.
(FR)L'invention concerne des systèmes et des procédés de manipulation de plaquettes qui consistent à extraire une première plaquette d'une cassette de plaquettes au moyen d'un premier bras ; à transférer la première plaquette du premier bras de transfert à un deuxième bras ; à distribuer la première plaquette en vue d'un traitement dans une chambre de traitement au moyen du deuxième bras ; à retirer la première plaquette de la chambre de traitement au moyen du premier bras ; et à renvoyer la première plaquette dans la cassette au moyen du premier bras. Les systèmes et les procédés de l'invention peuvent consister à extraire une première plaquette d'une cassette de plaquettes au moyen d'un premier bras ; à distribuer la première plaquette en vue d'un traitement dans une chambre de traitement au moyen du premier bras ; à retirer une plaquette traitée de la chambre de traitement au moyen d'un deuxième bras ; à renvoyer la plaquette traitée dans la cassette au moyen du deuxième bras ; et à répéter de manière itérative les opérations d'extraction, de distribution, de retrait et de renvoi des plaquettes de et dans la cassette par alternance des bras entre les itérations.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)