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1. (WO2005040925) OBJECTIF DE PROJECTION POUR EUV COMPORTANT DES MIROIRS CONSTITUES DE MATERIAUX PRESENTANT DES SIGNES DE GRADIENT DE LA DEPENDANCE VIS-A-VIS DE LA TEMPERATURE DU COEFFICIENT DE DILATATION THERMIQUE A PROXIMITE DE LA TEMPERATURE DE PASSAGE PAR ZERO DIFFERENTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2005/040925 N° de la demande internationale : PCT/EP2003/010761
Date de publication : 06.05.2005 Date de dépôt international : 27.09.2003
CIB :
G02B 5/08 (2006.01) ,G02B 7/18 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5
Eléments optiques autres que les lentilles
08
Miroirs
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
7
Montures, moyens de réglage ou raccords étanches à la lumière pour éléments optiques
18
pour prismes; pour miroirs
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants : DINGER, Udo[DE/DE]; DE (UsOnly)
EISERT, Frank[DE/DE]; DE (UsOnly)
KOEHLER, Stefan[DE/DE]; DE (UsOnly)
OCHSE, Andreas[DE/DE]; DE (UsOnly)
ZELLNER, Johannes[DE/DE]; DE (UsOnly)
LOWISCH, Martin[DE/DE]; DE (UsOnly)
LAUFER, Timo[DE/DE]; DE (UsOnly)
CARL ZEISS SMT AG[DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen, DE (AllExceptUS)
Inventeurs : DINGER, Udo; DE
EISERT, Frank; DE
KOEHLER, Stefan; DE
OCHSE, Andreas; DE
ZELLNER, Johannes; DE
LOWISCH, Martin; DE
LAUFER, Timo; DE
Mandataire : LORENZ, Werner; Alte Ulmer Strasse 2 89522 Heidenheim, DE
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) EUV PROJECTION LENS WITH MIRRORS MADE FROM MATERIALS WITH DIFFERING SIGNS FOR THE RISE IN TEMPERATURE DEPENDENCE OF THE THERMAL EXPANSION COEFFICIENT AROUND THE ZERO TRANSITION TEMPERATURE
(FR) OBJECTIF DE PROJECTION POUR EUV COMPORTANT DES MIROIRS CONSTITUES DE MATERIAUX PRESENTANT DES SIGNES DE GRADIENT DE LA DEPENDANCE VIS-A-VIS DE LA TEMPERATURE DU COEFFICIENT DE DILATATION THERMIQUE A PROXIMITE DE LA TEMPERATURE DE PASSAGE PAR ZERO DIFFERENTS
(DE) EUV-PROJEKTIONSOBJEKTIV MIT SPIEGELN AUS MATERIALIEN MIT UNTERSCHIEDLICHEM VORZEICHEN DER STEIGUNG DER TEMPERATURABHÄNGIGKEIT DES WÄRMEAUSDEHNUNGSKOEFFIZIENTEN NAHE DER NULLDURCHGANGSTEMPERATUR
Abrégé :
(EN) The invention relates to a projection lens (1) for short wavelengths, in particular, for wavelengths $g(l)< 157 nm, provided with several mirrors (M1, M2, M3, M4, M5 and M6), arranged in a precise position with relation to an optical axis (5). The mirrors (M1, M2, M3, M4, M5 and M6) comprise multi-layer coatings. At least two different mirror materials are provided which differ in the rise in thermal expansion coefficient as a function of temperature around the zero transition of the thermal expansion coefficient, in particular, in the sign of the value.
(FR) L'invention concerne un objectif de projection (1) destiné à des longueurs d'onde courtes, notamment à des longueurs d'onde $g(l) < 157 nm, ledit objectif étant pourvu de plusieurs miroirs (M1, M2, M3, M4, M5 et M6) qui sont positionnés de manière précise par rapport à un axe optique (5). Ces miroirs (M1, M2, M3, M4, M5 et M6) présentent plusieurs couches. Cet objectif comporte au moins deux matériaux de miroir présentant des gradients du coefficient de dilatation thermique en fonction de la température autour du passage par zéro du coefficient de dilatation thermique différents, notamment des signes de gradients différents.
(DE) Ein Projektionsobjektiv (1) für kurze Wellenlängen, insbesondere für Wellenlängen &lgr; < 157 nm ist mit mehreren Spiegeln (M1, M2, M3, M4, M5 und M6), welche zu einer optischen Achse (5) positionsgenau angeordnet sind, versehen. Die Spiegel (M1, M2, M3, M4, M5 und M6) weisen Multilayerschichten auf. Wenigstens zwei unterschiedliche Spiegelmaterialien, die sich in der Steigung des Wärmeausdehnungskoeffizienten als Funktion der Temperatur im Bereich des Nulldurchgangs der Wärmeausdehnungskoeffizienten, insbesondere im Vorzeichen der Grösse, unterscheiden, sind vorgesehen.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AU, AZ, BA, BB, BR, BY, BZ, CA, CN, CO, CR, CU, DM, DZ, EC, EG, GD, GE, GH, GM, HR, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, RU, SC, SD, SG, SL, SY, TJ, TM, TN, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)