(EN) An optical element that is used for an exposure device for transferring through a projection optical system a pattern of a mask onto a substrate by illuminating the mask by an exposure light beam and has a predetermined liquid interposed between the surface of the substrate and the projection optical system. The optical element has a dissolution preventive member on the surface of a transmissive optical element on the substrate side of the projection optical system.
(FR) L'invention porte sur un élément optique utilisé dans un appareil d'exposition pour transférer sur un substrat, par l'intermédiaire d'un système optique de projection, le motif d'un masque, et ceci en éclairant le masque par un faisceau lumineux. Dans cet élément optique, un liquide prédéfini se trouve entre la surface du substrat et le système optique de projection. L'élément optique possède un élément de prévention contre la dissolution sur la surface d'un élément optique transparent, sur la face du substrat du système optique de projection.
(JA) 露光ビームでマスクを照明し、投影光学系を介して前記マスクのパターンを基板上に転写するための露光装置であって、前記基板の表面と前記投影光学系との間に所定の液体を介在させた前記露光装置に使用される光学素子において、
前記投影光学系の前記基板側の透過光学素子の表面に第1の溶解防止部材を備えている光学素子。