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1. (WO2005017997) INSPECTION A L'AIDE D'UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/017997    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/006634
Date de publication : 24.02.2005 Date de dépôt international : 04.03.2004
CIB :
G01N 23/225 (2006.01), G01R 31/303 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. [IL/IL]; 8 Oppenheimer Street, 76236 Rehovot (IL) (Tous Sauf US).
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A, Santa Clara, CA 95052 (US) (Tous Sauf US).
NEHMADI, Youval [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
ABRAHAM, Zamir [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
SOD-MORIAH, Gil [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
ERAN, Yair [--/IL]; (IL) (US Seulement).
OFEK, Chen [IL/IL]; (IL) (US Seulement).
COHEN, Yaron [--/IL]; (IL) (US Seulement)
Inventeurs : NEHMADI, Youval; (IL).
ABRAHAM, Zamir; (IL).
SOD-MORIAH, Gil; (IL).
ERAN, Yair; (IL).
OFEK, Chen; (IL).
COHEN, Yaron; (IL)
Mandataire : FAHMI, Tarek; 12400 Wilshire Boulevard, 7th Floor, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
60/491,799 01.08.2003 US
Titre (EN) CHARGED PARTICLE BEAM INSPECTION
(FR) INSPECTION A L'AIDE D'UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES
Abrégé : front page image
(EN)The invention provides a method and a measurement system. The system includes: (i) a scanner for scanning an area that comprises multiple structural elements with a beam of charged particles; (ii) a detector (16), positioned to receive charged particles resulting from an interaction between the area and the beam of charged particles and to provide multiple detection signals; and (iii) a processor (102), adapted to process detection signals associated with multiple ideally identical structural elements to provide a result representative of at least one feature of at least one of said ideally identical structural elements.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système de mesure. Ce système comprend : (i) un scanneur permettant de balayer une zone qui comprend des multiples éléments structurels à l'aide d'un faisceau de particules chargées ; (ii) un détecteur (16) conçu pour recevoir des particules chargées issues d'une interaction entre la zone et le faisceau de particules chargées et pour émettre de multiples signaux de détection ; et (iii) un processeur (102) conçu pour traiter des signaux de détection associés à de multiples éléments structurels idéalement identiques afin de donner un résultat représentatif d'au moins une caractéristique d'au moins l'un desdits éléments structurels idéalement identiques.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)