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1. (WO2005015962) SOURCE DE RAYONNEMENT PRODUIT PAR UN PLASMA ET DISPOSITIF POUR CREER UN RIDEAU GAZEUX DESTINE A DES SOURCES DE RAYONNEMENT PRODUIT PAR UN PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/015962    N° de la demande internationale :    PCT/DE2004/001802
Date de publication : 17.02.2005 Date de dépôt international : 09.08.2004
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : JENOPTIK MIKROTECHNIK GMBH [DE/DE]; Göschwitzer Strasse 40, 07745 Jena (DE) (Tous Sauf US).
SCHÜRMANN, Max, C. [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SEHER, Bernd [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MÜLLER, Lutz [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MISSALLA, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : SCHÜRMANN, Max, C.; (DE).
SEHER, Bernd; (DE).
MÜLLER, Lutz; (DE).
MISSALLA, Thomas; (DE)
Mandataire : BERTRAM, Helmut; Oehmke & Kollegen, Neugasse 13, 07743 Jena (DE)
Données relatives à la priorité :
103 37 667.4 12.08.2003 DE
Titre (DE) PLASMA-STRAHLUNGSQUELLE UND ANORDNUNG ZUR ERZEUGUNG EINES GASVORHANGS FÜR PLASMA-STRAHLUNGSQUELLEN
(EN) PLASMA RADIATION SOURCE AND DEVICE FOR CREATING A GAS CURTAIN FOR PLASMA RADIATION SOURCES
(FR) SOURCE DE RAYONNEMENT PRODUIT PAR UN PLASMA ET DISPOSITIF POUR CREER UN RIDEAU GAZEUX DESTINE A DES SOURCES DE RAYONNEMENT PRODUIT PAR UN PLASMA
Abrégé : front page image
(DE)Eine Plasma-Strahlungsquelle soll so verbessert werden, dass die durch den Einfluss von Debris begrenzte Lebensdauer der Optiken deutlich erhöht wird. Ein Gasvorhang, durch den die von einem Quellbereich in einer Vakuumkammer (1) ausgehende Strahlung (5) in einen definierten Raumwinkel zur Debris-Unterdrückung hindurch entlang einer Achse (X-X) der mittleren Ausbreitungsrichtung der Strahlung (5) abgestrahlt wird, geht als radial gerichteter Überschall-Gasstrahl (7) von einer auf der Achse (X-X) angeordneten Treibdüse (2) einer Gasstrahl-Vakuumpumpe (3) aus, ist auf eine zu der Achse (X-X) koaxial angeordnete ringförmige Mischdüse (8) der Gasstrahl-Vakuumpumpe (3) gerichtet und über einen Diffuser (10) aus der Vakuumkammer (1) herausgeführt. Damit werden Quellkonzepte mit optimaler Konversionseffizienz, aber hohem Debris verfügbar.
(EN)The aim of the invention is to improve a plasma radiation source whereby distinctly increasing the serviceable life of the optics that is limited by the influence of debris. A gas curtain, through which the radiation (5) emanating from a source area inside a vacuum chamber (1), is emitted at a defined solid angle for suppressing debris along an axis (X-X) of the mean propagation direction of the radiation (5), starts as a radially oriented supersonic gas jet (7) from a booster nozzle (2) of a gas jet vacuum pump (3), said nozzle being placed on the axis (X-X), is oriented toward a annular mixing nozzle (8) of the gas jet vacuum pump (3), said mixing nozzle being arranged coaxial to the axis (X-X), and exits the vacuum chamber (1) via a diffuser (10). This makes source concepts with an optimal conversion efficiency, however, high debris available.
(FR)L'objectif de l'invention est d'améliorer une source de rayonnement produit par un plasma de façon à allonger considérablement la durée de vie des optiques, limitée par l'influence de débris. Les mesures à prendre pour réaliser cet objectif doivent empêcher la propagation des débris et permettre ainsi le recours à des concepts de source présentant un rendement de conversion optimal, dont l'utilisation était impossible jusqu'à présent en raison de la durée de vie des optiques. A cet effet, un rideau gazeux, à travers lequel le rayonnement (5), sortant d'une zone source dans une chambre à vide (1), est émis selon un angle solide défini pour empêcher la propagation de débris le long d'un axe (X-X) de la direction de propagation centrale du rayonnement (5), sort sous la forme d'un jet gazeux supersonique (7), orienté radialement, d'une tuyère d'entraînement (2), placée sur l'axe (X-X), d'une pompe à vide à jet gazeux (3), est dirigé sur une tuyère de mélange (8) annulaire, coaxiale à l'axe (X-X), de la pompe à vide à jet gazeux (3) et sort de la chambre à vide (1) par l'intermédiaire d'un diffuseur (10).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)