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1. (WO2005015122) PROCEDE DE DETERMINATION DE L'INDICE DE REFRACTION LORS DE MESURES DE LONGUEURS INTERFEROMETRIQUES ET DISPOSITIF INTERFEROMETRIQUE CORRESPONDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/015122    N° de la demande internationale :    PCT/DE2004/001321
Date de publication : 17.02.2005 Date de dépôt international : 24.06.2004
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G01N 21/45 (2006.01)
Déposants : BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND, vertr. durch DAS BUNDESMINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT UND ARBEIT, dieses vertreten durch DEN PRÄSIDENTEN DER PHYSIKALISCH-TECHNISCHEN BUNDESANSTALT [DE/DE]; Bundesallee 100, 38116 Braunschweig (DE) (Tous Sauf US).
BODERMANN, Bernd [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BODERMANN, Bernd; (DE)
Mandataire : LINS, Edgar; Gramm, Lins & Partner GbR, Theodor-Heuss-Strasse 1, 38122 Braunschweig (DE)
Données relatives à la priorité :
103 34 350.4 25.07.2003 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER BRECHZAHL BEI INTERFEROMETRISCHEN LÄNGENMESSUNGEN UND INTERFEROMETERANORDNUNG HIERFÜR
(EN) METHOD FOR DETERMINING THE REFRACTIVE INDEX DURING INTERFEROMETRIC LENGTH MEASUREMENT AND INTERFEROMETERIC ARRANGEMENT THEREFOR
(FR) PROCEDE DE DETERMINATION DE L'INDICE DE REFRACTION LORS DE MESURES DE LONGUEURS INTERFEROMETRIQUES ET DISPOSITIF INTERFEROMETRIQUE CORRESPONDANT
Abrégé : front page image
(DE)Zur Bestimmung der Brechzahl und/oder Kompensation des Brechzahleinflusses bei interferometrischen Längenmessungen mit Hilfe eines mit wenigstens zwei Messstrahlen (v2, v3) mit wenigstens definierten, etwa in einem harmonischen Verhältnis zueinander stehenden Frequenzen beaufschlagten Interferometers (13, 13'), an dessen Ausgang interferometrisch Phasen für die wenigstens zwei Messstrahlen (v2, v3) ausgewertet werden, wobei eine dem harmonischen Verhältnis der Frequenzen der Messstrahlen (v2, v3) entsprechende Multiplikation der interferometrischen Phasen vorgenommen und wenigstens eine Phasendifferenz der so gebildeten Phasenwerte betrachtet wird, wird vorgesehen, dass wenigstens einer der Messstrahlen (v3) in seiner Frequenz variierbar ist und dass aus der gebildeten Phasendifferenz ein Steuersignal zur Veränderung der Frequenz des in seiner Frequenz veränderbaren Messstrahls (v3) gebildet wird, mit dem die Frequenz so geregelt wird, dass die Phasendifferenz zu Null wird. Hierdurch kann die Ermittlung der Brechzahl oder die Längenmessung durch eine Messung einer Frequenzdifferenz erfolgen.
(EN)The aim of the invention is to determine the refractive index and/or compensation of the influence of the refractive index during interferometric length measurement with the aid of an interferometer (13, 13') impinged upon by at least two measuring beams (v2, v3) having at least defined frequencies with an approximately harmonic ratio. Interferometric phases are evaluated for the at least two measuring beams (v2, v3) at the outlet of said interferometer. The interferometric phases corresponding to the harmonic ratio of the frequencies of the measuring beams (v2, v3) are multiplicated and at least one phase difference of the thus formed phase value is examined. According to the invention, at least one of the measuring beams (v3) can be modified in the frequency thereof and a control signal which is used to modify the frequency of the measuring beam (v3) which can be modified in the frequency thereof is formed from the obtained phase difference and the measuring signal controls the frequency in such a manner that the phase difference in zero. It is also possible to determine the refractive index or the length measurement by measuring a frequency difference.
(FR)L'invention vise à permettre la détermination de l'indice de réfraction et/ou la compensation de l'influence de l'indice de réfraction lors de la mesure de longueurs interférométrique à l'aide d'un interféromètre (13, 13') recevant au moins deux faisceaux de mesure (v2, v3) ayant des fréquences au moins définies se trouvant approximativement en relation harmonique, des phases étant évaluées de façon interférométrique à la sortie dudit interféromètre pour les deux faisceaux de mesure (v2, v3) par l'intermédiaire d'une multiplication des phases interférométriques correspondant au rapport harmonique des fréquences des faisceaux de mesure (v2, v3) et prise en compte d'au moins une différence de phase des valeurs de phase ainsi déterminées. A cet effet, la fréquence d'au moins un des faisceaux de mesure (v3) peut être modifiée et la différence de phase obtenue est employée pour former un signal de commande destiné à la modification de la fréquence du faisceau de mesure (v3) à fréquence variable, servant à réguler la fréquence de telle manière que la différence de phase est nulle. Ainsi, il est possible de déterminer l'indice de réfraction ou d'effectuer une mesure de longueur par mesure d'une différence de fréquence.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)