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1. (WO2005013345) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/013345    N° de la demande internationale :    PCT/JP2004/010563
Date de publication : 10.02.2005 Date de dépôt international : 16.07.2004
CIB :
B08B 1/04 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI [JP/JP]; 2-1, Kurosaki-Shiroishi Yahatanishi-ku Kitakyushu-shi, Fukuoka 806-0004 (JP) (Tous Sauf US).
NAKAMURA, Kenichiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIRAYAMA, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MOMOTOMI, Minoru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KIYOKAWA, Kenji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NAKAMURA, Kenichiro; (JP).
HIRAYAMA, Tsuyoshi; (JP).
MOMOTOMI, Minoru; (JP).
KIYOKAWA, Kenji; (JP)
Mandataire : HONDA, Hironori; Eikoh Patent Office 13th Floor, ARK Mori Building 12-32, Akasaka 1-chome Minato-ku, Tokyo 107-6013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2003-275390 16.07.2003 JP
Titre (EN) SUBSTRATE-TREATING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理装置
Abrégé : front page image
(EN)A substrate-treating apparatus for holding a substrate and a treating tool in a contact relation always at a predetermined pressure. A substrate-treating apparatus has, on a bracket (10) vertically moved by a lifting device (15), a treating tool (3) for performing treatment such as cleaning while being in contact with a surface of a substrate (1) at a set pressure; an operating shaft (4) to which the treating tool (3) is attached; a holding member (6) for supporting the operating shaft (4) so as to be free only in the rotating direction; a servomotor (11) connected to the holding member (6) and vertically moving the operating shaft (4); and a motor (8) for rotation to which the operating shaft (4) is connected with a pin joint (9). The substrate-treating apparatus has, separately from the lifting device (15) of the bracket (10), the servomotor (11) for vertically moving the operating shaft (4), and the servomotor (11) is excited according to the difference between the weight of the operating shaft (4) including the treating tool (3) and a predetermined contact pressure (weight), causing output torque to be added to the operating shaft (4) to offset the weight of the operating shaft (4). As a result, the treating tool (3) is brought to be in contact with the substrate surface at a weight corresponding to the predetermined contact pressure.
(FR)L'invention concerne un appareil pour traiter le substrat permettant de maintenir le contact entre un substrat et un outil de traitement à une pression prédéterminée. Selon l'invention, ledit appareil comprend un outil de traitement (3), disposé sur un support (10) déplacé verticalement par un dispositif de levage (15), permettant d'effectuer le traitement, tel que le nettoyage, tout en restant en contact avec la surface d'un substrat (1) à une pression déterminée ; une tige de fonctionnement (4), à laquelle l'outil de traitement (3) est fixé ; un élément de maintien (6) destiné à supporter la tige de fonctionnement (4), de façon à être libre uniquement en rotation ; un servomoteur (11) relié à l'élément de maintien (6) et déplaçant verticalement la tige de fonctionnement (4) ; et un moteur (8) permettant la rotation, et auquel la tige de fonctionnement (4) est relié par un joint (9) mâle et femelle. Ledit appareil comprend un servomoteur (11), séparément du dispositif de levage (15) du support (10), conçu pour déplacer verticalement la tige de fonctionnement (4), et le servomoteur (11) est excité par la différence entre le poids de la tige de fonctionnement (4) comprenant l'outil de traitement (3) et une pression de contact (poids) prédéterminée, ce qui entraîne l'ajout du couple de sortie à la tige de fonctionnement (4), de manière à compenser le poids de la tige de fonctionnement (4). Il en résulte que l'outil de traitement (3) est mis en contact avec la surface du substrat à un poids correspondant à la pression de contact prédéterminée.
(JA)本発明の課題は、基板と処理具とを常に所定の圧力で接触保持させる基板処理装置を提供することである。本発明によれば、昇降装置15により昇降するブラケット10に、基板1の表面に設定圧力で接触して洗浄などの処理を行う処理具3と、この処理具3を取り付けた操作軸4と、操作軸4を回転方向にのみ自由に支持する保持部材6と、保持部材6に連結して操作軸4を上下動させるサーボモータ11と、操作軸4をピン接手9で連結した回転用モータ8を設けている。ブラケット10の昇降装置15とは別に、操作軸4を上下動させるサーボモータ11を備え、処理具3を含む操作軸4の重量と、所定の接触圧力(重量)との差に応じて励磁し、出力トルクを操作軸4に加えて操作軸4の重量を相殺し、処理具3を所定の接触圧力に対応した重量で基板面に接触させる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)