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1. (WO2005013340) SYSTEME DE COURANT DE FOUCAULT POUR MESURER UN PROFIL IN SITU
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/013340    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/024405
Date de publication : 10.02.2005 Date de dépôt international : 27.07.2004
CIB :
B24B 37/04 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : MILLER, Gabriel, Lorimer; (US).
SWEDEK, Boguslaw, A.; (US).
BIRANG, Manoocher; (US)
Mandataire : GOREN, David, J.; Fish & Richardson P.C., 500 Arguello Street, Suite 500, Redwood City, CA 94063-1526 (US)
Données relatives à la priorité :
10/633,276 31.07.2003 US
Titre (EN) EDDY CURRENT SYSTEM FOR IN-SITU PROFILE MEASUREMENT
(FR) SYSTEME DE COURANT DE FOUCAULT POUR MESURER UN PROFIL IN SITU
Abrégé : front page image
(EN)An eddy current monitoring system may include an elongated core. One or more coils may be coupled with the elongated core for producing an oscillating magnetic field that may couple with one or more conductive regions on a wafer. The core may be translated relative to the wafer to provide improved resolution while maintaining sufficient signal strength. An eddy current monitoring system may include a DC-coupled marginal oscillator for producing an oscillating magnetic field at a resonant frequency, where the resonant frequency may change as a result of changes to one or more conductive regions. Eddy current monitoring systems may be used to enable real-time profile control.
(FR)L'invention concerne un système de surveillance de courant de Foucault comprenant un noyau allongé. Une ou plusieurs bobines peuvent être couplées audit noyau allongé, ce qui permet de produire un champ magnétique d'oscillation qui peut se coupler à une ou plusieurs régions conductrices sur une plaquette. Ledit noyau peut être translaté par rapport à la plaquette, de manière à fournir une résolution améliorée, tout en maintenant une résistance aux signaux suffisante. Un système de surveillance de courant de Foucault peut comprendre un oscillateur marginal à couplage continu permettant de produire un champ magnétique d'oscillation sur une fréquence résonnante, ladite fréquence résonnante pouvant varier lors des variations d'une ou plusieurs régions conductrices. Les systèmes de surveillance de courant de Foucault peuvent être utilisés pour permettre une commande de profil en temps réel.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)