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1. (WO2005013007) PROCEDE AMELIORE SERVANT A EFFECTUER LA CONFIGURATION D'UN SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2005/013007    International Application No.:    PCT/SE2004/001161
Publication Date: 10 févr. 2005 International Filing Date: 4 août 2004
IPC: G03F 7/20
Applicants: MICRONIC LASER SYSTEMS AB
WALFORD, Jonathan
ASKEBJER, Per
EKLUND, Robert
FOSSHAUG, Hans
Inventors: WALFORD, Jonathan
ASKEBJER, Per
EKLUND, Robert
FOSSHAUG, Hans
Title: PROCEDE AMELIORE SERVANT A EFFECTUER LA CONFIGURATION D'UN SUBSTRAT
Abstract:
L'invention concerne des procédés servant à effectuer la configuration de substrats, tels que des réticules, des masques ou des tranches, ce qui permet de limiter les variations de dimension critiques, tout en améliorant l'uniformité du dépôt chimique. Elle concerne, en particulier, des doses de conformité appliquées en différentes passes d'une stratégie d'écriture multipasse à des caractéristiques mesurables de résine photosensible ou de couches sensibles aux rayonnements appliqués à ces substrats. Elle décrit des stratégies d'écriture spécifiques. Différents aspects de l'invention sont exposés dans les revendications, les spécifications et les dessins.