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1. (WO2005012855) PROCEDE ET APPAREIL DE SURVEILLANCE DE PRODUITS CHIMIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/012855    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/023516
Date de publication : 10.02.2005 Date de dépôt international : 22.07.2004
CIB :
G01J 3/443 (2006.01), G01N 21/73 (2006.01)
Déposants : LIGHTWIND CORPORATION [US/US]; One Embarcadero Center, 12th Floor, San Francisco, CA 94111 (US) (Tous Sauf US).
POWELL, Gary [US/US]; (US) (US Seulement).
LITVAK, Herbert, Elliot [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : POWELL, Gary; (US).
LITVAK, Herbert, Elliot; (US)
Mandataire : BEFFEL, Ernest, J., Jr.; Haynes Beffel & Wolfeld LLP, P.O. Box 366, Half Moon Bay, CA 94019 (US)
Données relatives à la priorité :
60/490,084 25.07.2003 US
60/490,372 25.07.2003 US
60/490,113 25.07.2003 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL MONITORING
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE SURVEILLANCE DE PRODUITS CHIMIQUES
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to monitoring chemicals in a process chamber using a spectrometer having a plasma generator, based on patterns over time of chemical consumption. The relevant patterns may include a change in consumption, reaching a consumption plateau, absence of consumption, or presence of consumption. In some embodiments, advancing to a next step in forming structures on the workpiece depends on the pattern of consumption meeting a process criteria. In other embodiments, a processing time standard is established, based on analysis of the relevant patterns. Yet other embodiments relate to controlling work on a workpiece, based on analysis of the relevant patterns. The invention may be either a process or a device including logic and resources to carry out a process.
(FR)L'invention concerne la surveillance des produits chimiques dans une chambre de traitement, au moyen d'un spectromètre possédant un générateur de plasma, en fonction de modèles de consommation de produits chimiques dans le temps. Les modèles concernés peuvent comprendre un changement de consommation, atteignant un palier de consommation, l'absence de consommation ou la présence de consommation. Dans certains modes de réalisation, l'avance vers une autre étape dans la formation de structures sur la pièce à travailler dépend du modèle de consommation remplissant des critères de traitement. Dans d'autres modes de réalisation, une norme de durée de traitement est établie, d'après l'analyse des modèles concernés. Dans encore d'autres modes de réalisation, l'invention porte sur la commande d'un travail sur une pièce à travailler, en fonction de l'analyse des modèles concernés. Elle se rapporte à un procédé ou à un dispositif comprenant un circuit logique et des ressources pour la mise en oeuvre du procédé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)