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1. (WO2005010954) SYSTEME DE CHAUFFAGE PAR ETAPES MULTIPLES MIS EN OEUVRE DANS LA FABRICATION DE DISPOSITIFS MICROELECTRONIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/010954    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/022988
Date de publication : 03.02.2005 Date de dépôt international : 16.07.2004
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : BLUE29 CORPORATION [US/US]; 615 Palomar Ave., Sunnyvale, CA 94085 (US) (Tous Sauf US).
IVANOV, Igor, C. [US/US]; (US) (US Seulement).
ZHANG, Weigho [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : IVANOV, Igor, C.; (US).
ZHANG, Weigho; (US)
Mandataire : LETTANG, Mollie, E.; Conley Rose, P.C., P.O. Box 684908, Austin, TX 78768-4908 (US)
Données relatives à la priorité :
10/624,397 22.07.2003 US
Titre (EN) MULTI-STAGED HEATING SYSTEM FOR FABRICATING MICROELECTRONIC DEVICES
(FR) SYSTEME DE CHAUFFAGE PAR ETAPES MULTIPLES MIS EN OEUVRE DANS LA FABRICATION DE DISPOSITIFS MICROELECTRONIQUES
Abrégé : front page image
(EN)A system is provided which is adapted to transport a fluid from a plurality of serially coupled tanks to a chamber configured to process microelectronic wafers. The system further includes a plurality of temperature controllers positioned such that the chamber and the tanks are characterized into at least three zones based upon the adaptations of the controllers to maintain the fluid within each zone within a distinct temperature range. A method is also provided which includes storing a fluid within a preliminary temperature range, transporting the fluid to an intermediate tank and controlling the fluid temperature within the intermediate tank to be within a transitional temperature range distinct from the preliminary temperature range. The method further includes delivering the fluid to a process chamber and controlling the fluid temperature within the process chamber to be within a process temperature range distinct from the preliminary and transitional temperature ranges.
(FR)L'invention concerne un système conçu pour transporter un liquide à partir d'une pluralité de réservoirs couplés en série vers une chambre configurée pour traiter des plaquettes microélectronique. Ce système comprend également une pluralité d'unités de régulation de température disposées de sorte que la chambre et les réservoirs forment au moins trois zones, en fonction des adaptations effectuées par les unités de régulation pour maintenir le liquide à l'intérieur de chaque zone sur une échelle de températures distincte. L'invention concerne également un procédé consistant : à stocker un liquide dont la température est comprise sur une échelle de températures préliminaires ; à transporter ce liquide vers un réservoir intermédiaire ; et à réguler la température du liquide dans ledit récipient intermédiaire, de sorte qu'elle se situe sur une échelle de températures de transition, différente de l'échelle de températures préliminaires. Le procédé selon l'invention consiste également à acheminer le liquide vers une chambre de traitement, et à réguler la température du liquide à l'intérieur de ladite chambre, de sorte qu'elle se situe sur une échelle de températures de traitement, différente de l'échelle de températures préliminaires et de l'échelle de températures de transition.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)