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1. (WO2005010903) ANODE DE CONDENSATEUR CONSTITUEE DE COLONNES METALLIQUES FORMEES SUR UN SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2005/010903    International Application No.:    PCT/US2004/022463
Publication Date: 3 févr. 2005 International Filing Date: 14 juil. 2004
IPC: H01G 9/04
Applicants: CABOT CORPORATION
YUAN, Shi
WANG, Duan-Fan
Inventors: YUAN, Shi
WANG, Duan-Fan
Title: ANODE DE CONDENSATEUR CONSTITUEE DE COLONNES METALLIQUES FORMEES SUR UN SUBSTRAT
Abstract:
L'invention concerne des anodes de condensateurs qui comprennent des colonnes métalliques formées sur un substrat de manière à former une microstructure poreuse ainsi que des procédés de fabrication desdites anodes. Les colonnes métalliques peuvent être distinctes les unes des autres et faire saillie vers l'extérieur à partir du substrat. L'invention concerne également la formation des colonnes métalliques sur le substrat par dépôt en phase vapeur, notamment par dépôt à angle d'incidence oblique (GLAD), ainsi que par attaque chimique d'une partie d'une couche métallique. L'invention concerne en outre des condensateurs de haute capacitance fabriqués à partir desdites anodes de condensateurs.