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1. (WO2005010502) PROCEDE DE REMPLACEMENT DE SONDE POUR MICROSCOPE-SONDE A BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/010502    N° de la demande internationale :    PCT/JP2004/003851
Date de publication : 03.02.2005 Date de dépôt international : 22.03.2004
CIB :
G01Q 10/06 (2010.01), G01Q 30/06 (2010.01), G01Q 70/00 (2010.01)
Déposants : HITACHI KENKI FINETECH CO., LTD. [JP/JP]; 19-11, Yushima 3-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 113-0034 (JP) (Tous Sauf US).
MURAYAMA, Ken [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KENBO, Yukio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KUNITOMO, Yuuichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIROKI, Takenori [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAGANO, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MORIMOTO, Takafumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KURENUMA, Toru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YANAGIMOTO, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KURODA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIWA, Shigeru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FURUTANI, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MURAYAMA, Ken; (JP).
KENBO, Yukio; (JP).
KUNITOMO, Yuuichi; (JP).
HIROKI, Takenori; (JP).
NAGANO, Yoshiyuki; (JP).
MORIMOTO, Takafumi; (JP).
KURENUMA, Toru; (JP).
YANAGIMOTO, Hiroaki; (JP).
KURODA, Hiroshi; (JP).
MIWA, Shigeru; (JP).
FURUTANI, Takashi; (JP)
Mandataire : TAMIYA, Hiroshi; Meisan Tameike Bldg., 8th Fl. 1-12, Akasaka 1-chome Minato-ku, Tokyo 107-0052 (JP)
Données relatives à la priorité :
2003-200676 23.07.2003 JP
Titre (EN) PROBE REPLACING METHOD FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) PROCEDE DE REMPLACEMENT DE SONDE POUR MICROSCOPE-SONDE A BALAYAGE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡の深針交換方法
Abrégé : front page image
(EN)A probe replacing method for a scanning probe microscope which comprises a cantilever (21) having a probe (20), and a measuring section for measuring physical quantities between the probe and a sample and which is used for measuring a sample surface. The scanning probe microscope comprises a cantilever attaching section (22), a cantilever cassette (30), an XY-stage (14) and a Z-stage (15) for moving the cantilever cassette, and a light microscope (18). The scanning probe microscope includes a first step for effecting positioning between the cantilever attaching section and the cantilever cassette, selecting the cantilever from the cantilever cassette, and mounting it in the cantilever attaching section, and a second step for moving the light microscope device subsequent to the mounting of the cantilever and setting the mounted cantilever in a predetermined position in the observation field of view. The second step is provided with a step for effecting positional adjustment by moving the light microscope side or the cantilever side.
(FR)L'invention concerne un procédé de remplacement de sonde pour microscope-sonde à balayage qui comprend une console (21) à sonde (20) et un étage de mesure de quantités physiques entre la sonde et un échantillon, pour la mesure de surface d'échantillon. Le microscope comprend un étage de fixation de console (22), une cassette de console (30), un étage XY (14) et un étage Z (15) pour le déplacement de la cassette, ainsi qu'un microscope optique (18). Le microscope fonctionne comme suit : positionnement entre l'étage de fixation de console et la cassette de console, sélection de console dans la cassette, et montage dans l'étage de fixation, puis déplacement du microscope optique suite au montage et installation de la console montée en position préétablie dans le champ de vision, sachant que cette seconde étape prévoit un réglage de position par un déplacement qui affecte le côté microscope optique ou le côté console.
(JA)探針20を備えるカンチレバー21と、探針・試料間の物理量を測定する測定部を備え、試料表面を測定する走査型プローブ顕微鏡の探針交換方法である。走査型プロープ顕微鏡は、カンチレバーの取付け部22と、カンチレバーカセット30と、カンチレバーカセットを移動させるXYステージ14とZステージ15と、光学顕微鏡18を備える。上記の走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバー取付け部とカンチレバーカセットの間の位置合せを行い、カンチレバーカセットからカンチレバーを選んでカンチレバー取付け部に装着する第1ステップと、カンチレバー装着後に、光学顕微鏡装置を移動させ、装着されたカンチレバーを観察視野の所定位置に設定する第2ステップとを含む。第2ステップでは、光学顕微鏡側またはカンチレバー側を移動させて位置調整を行うステップを設ける。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)