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1. (WO2005010360) SYSTEME DE DISTRIBUTION DE GAZ UNIFORME MODULAIRE DANS UNE SOURCE D'IONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/010360    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/023962
Date de publication : 03.02.2005 Date de dépôt international : 22.07.2004
CIB :
B03C 3/00 (2006.01), H01J 7/24 (2006.01)
Déposants : VEECO INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 100 Sunnyside Blvd. Ste. B, Woodbury, NY 11797-2902 (US) (Tous Sauf US).
SIEGFRIED, Daniel, E. [US/US]; (US) (US Seulement).
BURTNER, David, Matthew [US/US]; (US) (US Seulement).
TOWNSEND, Scott, A. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : SIEGFRIED, Daniel, E.; (US).
BURTNER, David, Matthew; (US).
TOWNSEND, Scott, A.; (US)
Mandataire : HOLZER, Richard, J., Jr.; Hensley Kim & Edgington, LLC, 1660 Lincoln St., Suite 3050, Denver, CO 80264 (US)
Données relatives à la priorité :
60/489,476 22.07.2003 US
10/896,747 21.07.2004 US
Titre (EN) MODULAR UNIFORM GAS DISTRIBUTION SYSTEM IN AN ION SOURCE
(FR) SYSTEME DE DISTRIBUTION DE GAZ UNIFORME MODULAIRE DANS UNE SOURCE D'IONS
Abrégé : front page image
(EN)A modular ion source design relies on relatively short modular anode layer source (ALS) components, which can be coupled together to form a longer ALS (200). For long ion sources, these shorter modular components allow easier manufacturing and further result in a final assembly having better precision (e.g., a uniform gap dimensions along the longitudinal axis of the ion source). Modular components may be designed to have common characteristics so as to allow use of these components in ion sources of varying sizes. A modular gas distribution system distributes a working gas to the ionization region of the module ion source. For each gas distribution module (202), gas distribution channels (220) and baffles (222) are laid out relative to the module joints to prevent gas leakage. Furthermore, gas manifolds (223) and supply channels are used to bridge module joints while uniformly distributing the working gas to the ALS.
(FR)L'invention concerne une source d'ions modulaire utilisant des composants de source de couche anodique modulaire relativement courts qui peuvent être couplés pour former de plus longues sources de couche anodique. Pour les sources d'ions longues, ces composants modulaires plus courts facilitent le procédé de fabrication et fournissent un ensemble final plus précis (des dimensions d'espace uniformes le long de l'axe longitudinal de la source d'ions, par exemple). Des composants modulaires peuvent être conçus de manière à présenter des caractéristiques communes pouvant être utilisées dans des sources d'ions de dimensions variables. Un système de distribution de gaz modulaire distribue uniformément un gaz de travail vers la région d'ionisation de la source d'ions du module. Pour chaque module de distribution de gaz, des canaux de distribution de gaz et des chicanes sont disposées à proximité des joints de module pour éviter les fuites de gaz. Par ailleurs, des rampes d'alimentation en gaz et des canaux d'alimentation sont utilisés pour relier les joints de module et pour distribuer uniformément le gaz de travail aux sources de couche anodique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)