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1. (WO2005009894) PROCEDE POUR LA PRODUCTION AU POINT D'UTILISATION D'AMMONIAC A PARTIR D'EAU ET D'AZOTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2005/009894    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/023594
Date de publication : 03.02.2005 Date de dépôt international : 22.07.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    23.05.2005    
CIB :
C01B 3/02 (2006.01), C01B 3/56 (2006.01), C01C 1/04 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS INC. [US/US]; 3500 Lyman Boulevard, Chaska, MN 55318 (US) (Tous Sauf US).
SPIEGELMAN, Jeffrey, J. [US/US]; (US) (US Seulement).
ALVAREZ, JR., Daniel [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : SPIEGELMAN, Jeffrey, J.; (US).
ALVAREZ, JR., Daniel; (US)
Mandataire : CARROLL, Alice, O.; Hamilton, Brook, Smith & Reynolds, P.C., 530 Virginia Road, P.O. Box 9133, Concord, MA 01742-9133 (US)
Données relatives à la priorité :
10/626,266 23.07.2003 US
Titre (EN) METHOD FOR THE POINT OF USE PRODUCTION OF AMMONIA FROM WATER AND NITROGEN
(FR) PROCEDE POUR LA PRODUCTION AU POINT D'UTILISATION D'AMMONIAC A PARTIR D'EAU ET D'AZOTE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention discloses a method for the manufacture of high purity ammonia, hydrogen, and nitrogen from de-ionized water and standard nitrogen. De-ionized water is degassed and fed to an electrolytic hydrogen generator to produce raw hydrogen. The hydrogen is purified and mixed with purified nitrogen, compressed, and fed to a catalytic ammonia reactor. Following purification, the ammonia is delivered to the semiconductor process tool along with purified hydrogen and purified nitrogen.
(FR)La présente invention a trait à un procédé pour la fabrication d'ammoniac, d'hydrogène, et d'azote de haute pureté à partir de l'eau déionisée et de l'azote standard. On effectue le dégazage de l'eau déionisée et on l'alimente à un générateur d'hydrogène électrolytique pour produire de l'hydrogène brut. L'hydrogène est purifié et mélangé avec de l'azote purifié, comprimé, et alimenté à un réacteur d'ammoniac catalytique. Suite à la purification, l'ammoniac est fourni à l'outil de traitement à semi-conducteurs conjointement avec l'hydrogène purifié et l'azote purifié.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)