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Paramétrages

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1. WO2005008295 - APPAREIL DE MESURE OPTIQUE DE LARGEUR DE BANDE POUR LUMIERE LASER A LARGEUR DE BANDE TRES ETROITE

Numéro de publication WO/2005/008295
Date de publication 27.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/021259
Date du dépôt international 29.06.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 03.02.2005
CIB
G01J 3/28 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
28Etude du spectre
G01J 3/45 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
28Etude du spectre
45Spectrométrie par interférence
CPC
G01J 1/0228
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
02Details
0228Control of working procedures; Failure detection; Spectral bandwidth calculation
G01J 1/4257
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
42using electric radiation detectors
4257applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
G01J 3/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
G01J 3/027
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
027Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
G01J 3/28
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
G01J 3/45
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
45Interferometric spectrometry
Déposants
  • CYMER, INC. [US/US]; (a Nevada corporation) 17075 Thornmint Court San Diego, CA 92127, US (AllExceptUS)
  • RAFAC, Robert, J. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • RAFAC, Robert, J.; US
Mandataires
  • CRAY, William; Cymer, Inc. Legal Department-MS/4-2C 17075 Thornmint Court San Diego, CA 92127, US
Données relatives à la priorité
10/615,32107.07.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) OPTICAL BANDWIDTH METER FOR VERY NARROW BANDWIDTH LASER EMITTED LIGHT
(FR) APPAREIL DE MESURE OPTIQUE DE LARGEUR DE BANDE POUR LUMIERE LASER A LARGEUR DE BANDE TRES ETROITE
Abrégé
(EN)
A method and apparatus for measuring bandwidth of light emitted from a laser (12) is disclosed which may comprise: a first (30) and second (34) wavelength sensitive optical bandwidth etalon detectors providing, respectively, an output (32, 36) representative of a first parameter indicative of the bandwidth of the emitted light as measured respectively by the first anal second bandwidth detectors, and an actual bandwidth calculation apparatus (40) adapted to utilize these two outputs as part of a multivariable linear equation employing predetermined calibration variables specific to either the first or the second bandwidth detector, to calculate a first actual bandwidth parameter (FWXM) or a second actual bandwidth parameter (EX).
(FR)
L'invention porte sur un procédé et un appareil de mesure de la largeur de bande d'une lumière émise par un laser, cet appareil pouvant comprendre: des premier et second détecteurs optiques de largeur de bande sensibles à la longueur d'onde, une sortie représentative d'un premier paramètre indiquant la largeur de bande de la lumière émise tel que mesuré par les premier et second détecteurs de largeur de bande, et un calculateur de largeur de bande réelle adapté pour utiliser ces deux sorties comme faisant partie d'une équation linéaire à plusieurs variables utilisant des variables d'étalonnage prédéterminées spécifiques à l'un ou l'autre des premier ou second détecteurs de largeur de bande afin de calculer un premier ou un second paramètre de largeur de bande réelle. Le premier paramètre de largeur de bande réelle peut être un spectre pleine largeur à un certain pourcentage du maximum ( FWXM ), et le second paramètre de largeur de bande réelle peut être une partie contenant un certain pourcentage d'énergie ( EX ). Les premier et second détecteurs de largeur de bande peuvent être un étalon et les sorties peuvent être représentatives d'une largeur de frange d'une sortie optique de l'étalon respectif au niveau de FWXM. Les variables d'étalonnage précalculées peuvent être dérivées de courbes tridimensionnelles représentant, respectivement, des sorties des détecteurs en relation avec une lumière d'entrée d'étalonnage avec des valeurs connues des premier et second paramètres de largeur de bande réelle qui peuvent être FWXM et EX. Les premiers/secondes courbes tridimensionnelles peuvent donner une solution: (première/seconde sortie) = (a/d * (valeur connue lumière d'entrée d'étalonnage de FWXM)) + (b/e* (valeur connue lumière d'entrée d'étalonnage de EX) +c/f; et le calculateur de largeur de bande réelle peut utiliser l'équation dérivée: (premier paramètre de largeur de bande réelle) = ((b * (seconde sortie)) -(e * (première sortie)) + ce - bf) / (bd - ae), ou l'équation: (second paramètre de largeur de bande réelle) = ((a * (seconde sortie)) - (d * (première sortie)) + cd - af) / (ae - bd). FWXM peut être FWHM et EX peut être E95. La fonction de transfert du premier détecteur optique de largeur de bande peut être sélectionnée pour être beaucoup plus sensible à FWXM qu'à EX et la fonction de transfert du second détecteur otique de largeur de bande peut être sélectionnée pour être beaucoup plus sensible à EX qu'à FWXM.
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