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Paramétrages

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1. WO2005007728 - APPAREIL DE TRAITEMENT DE SURFACE CONTINU POUR FORME TRIDIMENSIONNELLE DE POLYMERE ET SON PROCEDE DE TRAITEMENT DE SURFACE CONTINU

Numéro de publication WO/2005/007728
Date de publication 27.01.2005
N° de la demande internationale PCT/KR2003/002110
Date du dépôt international 13.10.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 18.02.2005
CIB
C08J 7/12 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
08COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES ORGANIQUES; LEUR PRÉPARATION OU LEUR MISE EN UVRE CHIMIQUE; COMPOSITIONS À BASE DE COMPOSÉS MACROMOLÉCULAIRES
JMISE EN ŒUVRE; PROCÉDÉS GÉNÉRAUX POUR FORMER DES MÉLANGES; POST-TRAITEMENT NON COUVERT PAR LES SOUS-CLASSES C08B, C08C, C08F, C08G ou C08H149
7Traitement chimique ou revêtement d'objets façonnés faits de substances macromoléculaires
12Modification chimique
CPC
B29C 59/142
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
59Surface shaping ; of articles; , e.g. embossing; Apparatus therefor
14by plasma treatment
142of profiled articles, e.g. hollow or tubular articles
C23C 14/48
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
48Ion implantation
C23C 14/566
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
566using a load-lock chamber
H01J 37/32412
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32412Plasma immersion ion implantation
H01J 37/32761
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
32733Means for moving the material to be treated
32752for moving the material across the discharge
32761Continuous moving
Déposants
  • EPON CO., LTD. [KR/KR]; Rm.107 Apt-type factory 5Ra 301 BL Shiwha Industrial Complex 672 Seonggok-dong, Ansan-city Kyunggi-do 425-836, KR (AllExceptUS)
  • CHOI, Yong Rak [KR/KR]; KR (UsOnly)
Inventeurs
  • CHOI, Yong Rak; KR
Mandataires
  • PARK, Man-Soon; 2nd Fl., Dukwon Bldg. 637-19 Yeoksam-dong Kangnam-gu Seoul 135-080, KR
Données relatives à la priorité
10-2003-005017022.07.2003KR
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) CONTINUOUS SURFACE-TREATING APPARATUS FOR THREE-DIMENSIONAL SHAPE OF POLYMER AND CONTINUOUS SURFACE-TREATING METHOD THEREOF
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SURFACE CONTINU POUR FORME TRIDIMENSIONNELLE DE POLYMERE ET SON PROCEDE DE TRAITEMENT DE SURFACE CONTINU
Abrégé
(EN)
The present invention provides a continuous surface treatment apparatus of tridimensional-shaped polymer by plasma ion implantation, which includes a high frequency power supplying device for generating plasma for injecting ions, and having a high frequency power supplying unit, a matching box, and an antenna, a gas introducing unit for supplying process gas to be ionized for plasma, a gas supplying unit connected to the gas introducing unit, a processing chamber having a vacuum pump and the like, a leading-in chamber, and an leading-out chamber, which are installed before and after the processing chamber respectively with adjacent thereto, and are adapted to be gas-exhaustible, a transferring unit installed to sequentially pass by through the leading-in chamber, the processing chamber, and the leading-out chamber, transferring means for driving the transferring unit, and doors being positioned in the leading-in chamber and the leading-out chamber respectively, and in partitions between the leading-in chamber and the processing chamber, and between the processing chamber and the leading-out chamber respectively, and automatically capable of being opened/closed so that the transferring unit can pass by therethrough.
(FR)
La présente invention concerne un appareil de traitement de surface continu d'un polymère de forme tridimensionnelle par implantation d'ions plasma, lequel comprend un dispositif de fourniture d'énergie à haute fréquence destiné à générer du plasma pour l'injection des ions, et présentant une unité d'alimentation à haute fréquence, un boîtier d'adaptation ainsi qu'une antenne, une unité d'introduction de gaz destinée à fournir du gaz de traitement à ioniser pour le plasma, une unité d'alimentation en gaz reliée à l'unité d'introduction de gaz, une chambre de traitement présentant une pompe à vide et analogue, une chambre d'entrée ainsi qu'une chambre de sortie, lesquelles sont installées avant et après la chambre de traitement respectivement adjacentes à celle-ci et sont adaptées pour permettre l'évacuation du gaz, une unité de transfert installée de manière à passer de manière séquentielle à travers la chambre d'entrée, la chambre de traitement et la chambre de sortie, un moyen de transfert destiné à entraîner l'unité de transfert, des portes étant positionnées dans la chambre d'entrée et la chambre de sortie respectivement, et des séparations intérieures entre la chambre d'entrée et la chambre de traitement, et entre la chambre de traitement et la chambre de sortie respectivement, pouvant être ouvertes/fermées automatiquement de manière que l'unité de transfert peut passer en les traversant.
Également publié en tant que
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