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1. WO2005006002 - PROCEDE D'APPRENTISSAGE APPLIQUE A UNE BASE DE CONNAISSANCES POUR LA CLASSIFICATION AUTOMATIQUE DE DEFAUTS

Numéro de publication WO/2005/006002
Date de publication 20.01.2005
N° de la demande internationale PCT/EP2004/051008
Date du dépôt international 03.06.2004
CIB
G01N 21/95 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
CPC
G01N 2021/8854
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
8854Grading and classifying of flaws
G01N 21/9501
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9501Semiconductor wafers
G06T 2207/30148
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
2207Indexing scheme for image analysis or image enhancement
30Subject of image; Context of image processing
30108Industrial image inspection
30148Semiconductor; IC; Wafer
G06T 7/0004
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7Image analysis
0002Inspection of images, e.g. flaw detection
0004Industrial image inspection
Déposants
  • LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH [DE/DE]; Ernst-Leitz-Strasse 17-37 35578 Wetzlar, DE (AllExceptUS)
  • SÖNKSEN, Dirk [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • FRIEDRICH, Ralf [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • DRAEGER, Andreas [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • SCHUPP, Detlef [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • VAN LUU, Thin [VN/DE]; DE (UsOnly)
  • LANGER, Wolfgang [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs
  • SÖNKSEN, Dirk; DE
  • FRIEDRICH, Ralf; DE
  • DRAEGER, Andreas; DE
  • SCHUPP, Detlef; DE
  • VAN LUU, Thin; DE
  • LANGER, Wolfgang; DE
Mandataires
  • REICHERT, Werner F.; Leica Microsystems AG Corporate Patents + Trademarks Department Ernst-Leitz-Strasse 17-37 35578 Wetzlar, DE
Données relatives à la priorité
10 2004 022 717.907.05.2004DE
103 31 646.912.07.2003DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) VERFAHREN ZUM EINLERNEN EINER WISSENSBASIERTEN DATENBASIS FÜR DIE AUTOMATISCHE FEHLERKLASSIFIKATION
(EN) METHOD OF LEARNING A KNOWLEDGE-BASED DATABASE USED IN AUTOMATIC DEFECT CLASSIFICATION
(FR) PROCEDE D'APPRENTISSAGE APPLIQUE A UNE BASE DE CONNAISSANCES POUR LA CLASSIFICATION AUTOMATIQUE DE DEFAUTS
Abrégé
(DE)
Es ist ein Verfahren zur zum Einlernen einer wissensbasierten Datenbasis für die automatische Fehlerklassifikation offenbart. Den Benutzer werden eine Reihe von Eingaben abgenommen, da das System einen automatischen Lernmodus durchführt, der eine Reduzierte Anzahl von Benutzereingaben
(EN)
The invention relates to a method of learning a knowledge-based database used in automatic defect classification. According to said method, the user is spared a series of entries as the system carries out an automatic learn mode, which requires a reduced number of user entries.
(FR)
Procédé d'apprentissage appliqué à une base de connaissances pour la classification automatique de défauts. L'utilisateur est déchargé de toute une série d'entrées, étant donné que le système exécute un mode d'apprentissage automatique qui nécessite un nombre réduit d'entrées effectuées par l'utilisateur.
Également publié en tant que
JP2006519905
US2006245634
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international