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Paramétrages

Paramétrages

1. WO2005005943 - CAPTEUR SERVANT A DETECTER UNE VARIATION DE TEMPERATURE OU UN RAYONNEMENT INFRAROUGE

Numéro de publication WO/2005/005943
Date de publication 20.01.2005
N° de la demande internationale PCT/DE2004/001462
Date du dépôt international 07.07.2004
CIB
G01K 7/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
KMESURE DES TEMPÉRATURES; MESURE DES QUANTITÉS DE CHALEUR; ÉLÉMENTS THERMOSENSIBLES NON PRÉVUS AILLEURS
7Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur
02utilisant des éléments thermo-électriques, p.ex. thermocouples
G01K 7/18 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
KMESURE DES TEMPÉRATURES; MESURE DES QUANTITÉS DE CHALEUR; ÉLÉMENTS THERMOSENSIBLES NON PRÉVUS AILLEURS
7Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur
16utilisant des éléments résistifs
18l'élément étant une résistance linéaire, p.ex. un thermomètre à résistance de platine
CPC
G01K 7/028
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
7Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat
02using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
028using microstructures, e.g. made of silicon
G01K 7/186
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
7Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat
16using resistive elements
18the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
186using microstructures
Déposants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE (AllExceptUS)
  • FISCHER, Frank [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • BAER, Hans-Peter [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • METZGER, Lars [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • HOECHST, Arnim [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • SCHEUERER, Roland [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs
  • FISCHER, Frank; DE
  • BAER, Hans-Peter; DE
  • METZGER, Lars; DE
  • HOECHST, Arnim; DE
  • SCHEUERER, Roland; DE
Données relatives à la priorité
103 30 684.608.07.2003DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) SENSOR ZUR TEMPERATURÄNDERUNGS- ODER INFRAROT-DETEKTION
(EN) SENSOR FOR INFRARED DETECTION OR THE DETECTION OF TEMPERATURE CHANGES
(FR) CAPTEUR SERVANT A DETECTER UNE VARIATION DE TEMPERATURE OU UN RAYONNEMENT INFRAROUGE
Abrégé
(DE)
Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Temperaturänderungs- oder Infra­rot-Detektion, der insbesondere für einen Gassensor verwendbar ist, und ein Verfahren zu seiner Herstellung. Um einen sicheren und kostengünstigen Sensor mit geringen Herstellungs­kosten herzustellen, weist dieser auf: ein Substrat (2), einen in dem Substrat (2) ausgebildeten Freiraum (4), eine oberhalb des Freiraums (4) ausgebildete, freitragende Membran (5), eine sich in die Membran (5) erstreckende leitfähige Struktur (10, 14, 16), eine auf dem Substrat (2) ausgebildete Auswerteschaltung (7), die eine von der leitfähigen Struktur (10, 14, 16) ausgegebene Messspannung aufnimmt und ein Auswertesignal (S) ausgibt, wobei der Infrarot-Sensor (1) monolithisch integriert ist. Erfindungsgemäß können somit durch Ausbilden von z.B. aus Spacernitrid bestehenden Passivierungsschichten (9, 12) mit Löchern (6) auf dem Sub­strat (2) und Opferschichtätzen eines Freiraums (24) unter den Passivie­rungsschichten (9, 12) die Membran (5) mit der leitfähigen Struktur und die Auswerteschaltung (7) monolithisch integriert werden.
(EN)
The invention relates to a sensor for infrared detection or the detection of temperature changes, and a method for the production thereof, said sensor being usable particularly for a gas sensor. The aim of the invention is to create a safe and inexpensive sensor that can be produced at low cost. Said aim is achieved by a sensor comprising: a substrate (2), a free space (4) embodied in the substrate (2), a self-supporting membrane (5) configured above the free space (4), a conductive structure (10, 14, 16) that extends into the membrane (5), an evaluation circuit (7) which is embodied on the substrate (2), records a measurement voltage supplied by the conductive structure (10, 14, 16), and outputs an evaluation signal (S), the infrared sensor (1) being monolithically integrated. According to the invention, the membrane (5) comprising the conductive structure as well as the evaluation circuit (7) can be monolithically integrated by embodying passivation layers (9, 12), which are made of spacer nitride, for example, with holes (6) on the substrate (2) and sacrificial layer etching a free space (24) below the passivation layers (9, 12).
(FR)
L'invention concerne un capteur servant à détecter une variation de température ou un rayonnement infrarouge, ce capteur pouvant être utilisé en particulier comme capteur de gaz, ainsi qu'un procédé de production de ce capteur. L'objectif de l'invention est de produire à moindre coût un capteur de ce type qui soit fiable et économique. A cet effet, le capteur selon l'invention comprend un substrat (2), un espace libre (4) ménagé dans ledit substrat (2), une membrane (5) autoportante disposée au-dessus dudit espace libre (4), une structure conductrice (10, 14, 16) s'étendant dans ladite membrane (5), un circuit d'évaluation (7) monté sur le substrat (2), ce circuit enregistrant une tension de mesure provenant de la structure conductrice (10, 14, 16) et émettant un signal d'évaluation (S). Le capteur d'infrarouge (1) ainsi formé est intégré de façon monolithique. Selon l'invention, la membrane (5) comprenant la structure conductrice et le circuit d'évaluation (7) peuvent ainsi être intégrés de façon monolithique par formation sur le substrat (2) de couches de passivation (9, 12), p. ex. à base de nitrure d'espacement, dans lesquelles sont ménagés des trous (6) et par gravure d'un espace libre (24) dans la couche sacrificielle sous les couches de passivation (9, 12).
Également publié en tant que
DE112004001681
DE1120040016819
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