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Paramétrages

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1. WO2005004555 - PROCEDE ET DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTREME OU D'UN RAYONNEMENT X A FAIBLE ENERGIE

Numéro de publication WO/2005/004555
Date de publication 13.01.2005
N° de la demande internationale PCT/EP2003/009842
Date du dépôt international 27.06.2003
CIB
H05G 2/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
GTECHNIQUE DES RAYONS X
2Appareils ou procédés spécialement adaptés à la production de rayons X, n'utilisant pas de tubes à rayons X, p.ex. utilisant la génération d'un plasma
CPC
H05G 2/003
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
003being produced from a liquid or gas
H05G 2/005
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
003being produced from a liquid or gas
005containing a metal as principal radiation generating component
H05G 2/008
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
008involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
Déposants
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE [FR/FR]; 31-33 Rue de la Fédération F-75015 Paris, FR (AllExceptUS)
  • XTREME TECHNOLOGIES GMBH [DE/DE]; Göschwitzer Strasse 25 07745 Jena, DE (AllExceptUS)
  • AIXUV GMBH [DE/DE]; Steinbachstrasse 15 52074 Aachen, DE (AllExceptUS)
  • SCHMIDT, Martin [DE/FR]; FR (UsOnly)
  • LEBERT, Rainer-Helmut [DE/BE]; BE (UsOnly)
  • STAMM, Uwe [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs
  • SCHMIDT, Martin; FR
  • LEBERT, Rainer-Helmut; BE
  • STAMM, Uwe; DE
Mandataires
  • THEVENET, Jean-Bruno ; Cabinet Beau de Lomenie 158 Rue de l'Université F-75340 Paris Cedex 07, FR
Données relatives à la priorité
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION OR SOFT X-RAY RADIATION
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTREME OU D'UN RAYONNEMENT X A FAIBLE ENERGIE
Abrégé
(EN)
The device for generating extreme ultraviolet (EUV) or soft X-ray radiation comprises a laser source (12) for producing a laser radiation (11) which is focused to intensities beyond 106 W/cm² onto a target to produce a plasma and electrodes mounted on an electrically insulating block (6) and located around the path of the plasma produced by the laser source (12). The electrodes are combined with a device for producing a rapid electric discharge in the plasma with a characteristic time constant which is less than the time constant of the laser produced plasma expansion time.
(FR)
Le dispositif générateur d'ultraviolet extrême (EUV) ou d'un rayonnement X à faible énergie, comprend une source laser (12) de production d'un rayonnement laser (11) qui est concentré à des intensités dépassant 106 W/cm2 sur une cible pour produire un plasma, et des électrodes montées sur un bloc électriquement isolant (6) et disposées dans l'environnement du trajet du plasma produit par la source laser (12). Les électrodes sont combinées avec un dispositif produisant une décharge électrique rapide dans le plasma, ayant une constante de temps caractéristique qui est inférieure à la constante de temps d'expansion de plasma produit par le laser.
Également publié en tant que
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