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Paramétrages

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1. WO2005004186 - DETECTEUR DE PARTICULES APTE A ETRE UTILISE POUR LA DETECTION D'IONS ET D'ELECTRONS

Numéro de publication WO/2005/004186
Date de publication 13.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/020527
Date du dépôt international 25.06.2004
CIB
H01J 37/244 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
244Détecteurs; Composants ou circuits associés
CPC
H01J 37/244
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
H01J 37/3005
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
3002Details
3005Observing the objects or the point of impact on the object
H01J 43/06
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
43Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
04Electron multipliers
06Electrode arrangements
H01J 49/025
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
025Detectors specially adapted to particle spectrometers
Déposants
  • FEI COMPANY [US/US]; 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793, US (AllExceptUS)
  • GERLACH, Robert, L. [US/US]; US (UsOnly)
  • UTLAUT, Mark, W. [US/US]; US (UsOnly)
  • DINGLE, Trevor [GB/GB]; GB (UsOnly)
  • UNCOVSKY, Marek [CZ/CZ]; CZ (UsOnly)
Inventeurs
  • GERLACH, Robert, L.; US
  • UTLAUT, Mark, W.; US
  • DINGLE, Trevor; GB
  • UNCOVSKY, Marek; CZ
Mandataires
  • SCHEINBERG, Michael, O.; P.O. Box 164140 Austin, TX 78716-4140, US
Données relatives à la priorité
10/606,93026.06.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PARTICLE DETECTOR SUITABLE FOR DETECTING LONS AND ELECTRONS
(FR) DETECTEUR DE PARTICULES APTE A ETRE UTILISE POUR LA DETECTION D'IONS ET D'ELECTRONS
Abrégé
(EN)
A particle detector switchable from an ion detector to an electron detector includes an ion-to-electron converter and a scintillator detector. With one set of voltages on the components, the converter has minimal impact on the electron trajectories so the electrons are efficiently detected by the scintillator detector. With different voltage settings on the components, the detector can be operated in positive ion mode to collect positive ions with adequate efficiency for most FIB applications. The ion-to-electron converter is preferably in the shape of a cylinder or includes multiple parallel plates.
(FR)
L'invention concerne un détecteur de particules pouvant passer de détecteur d'ions à détecteur d'électrons, qui comprend un convertisseur ion-électron et un détecteur scintillateur. Au moyen d'un réglage de tensions sur les composants, l'impact du convertisseur sur les trajectoires des électrons est minimal de façon que ces derniers soient détectés de manière efficace par le détecteur scintillateur. Au moyen de réglages de tensions différents sur les composants, le détecteur peut fonctionner en mode ion positif afin de recueillir des ions positifs à une efficacité adéquate pour la majorité des applications FIB. Le convertisseur ion-électron se présente de préférence sous forme d'un cylindre ou comprend plusieurs plaques parallèles.
Également publié en tant que
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