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Paramétrages

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1. WO2005003739 - PROCEDE ET DISPOSITIF POUR L'EXAMEN D'ELEMENTS SUR DES SUBSTRATS SEMI-TRANSPARENTS ET TRANSPARENTS

Numéro de publication WO/2005/003739
Date de publication 13.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/020177
Date du dépôt international 22.06.2004
CIB
G01N 21/47 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
47Dispersion, c. à d. réflexion diffuse
G01N 21/59 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
59Transmissivité
G01N 21/956 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
956Inspection de motifs sur la surface d'objets
CPC
G01B 11/0625
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness, e.g. of sheet material
0616of coating
0625with measurement of absorption or reflection
G01N 2021/4735
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
47Scattering, i.e. diffuse reflection
4735Solid samples, e.g. paper, glass
G01N 21/4788
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
47Scattering, i.e. diffuse reflection
4788Diffraction
G01N 21/59
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
59Transmissivity
G01N 21/956
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
956Inspecting patterns on the surface of objects
Déposants
  • N & K TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 4051 Burton Drive Santa Clara, CA 95054, US (AllExceptUS)
Inventeurs
  • LI, Guoguang; US
  • WALSH, Phillip; US
  • FOROUHI, Abdul, R.; US
Mandataires
  • ALBOSZTA, Marek à; Lumen IPS 2345 Yale Street 2nd Floor Palo Alto, CA 94306, US
Données relatives à la priorité
10/607,41025.06.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR EXAMINING FEATURES ON SEMI-TRANSPARENT AND TRANSPARENT SUBSTRATES
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR L'EXAMEN D'ELEMENTS SUR DES SUBSTRATS SEMI-TRANSPARENTS ET TRANSPARENTS
Abrégé
(EN)
An apparatus and method for determining a physical parameter of features on a substrate by illuminating the substrate with an incident light covering an incident wavelength range &Dgr;&lgr;, e.g., from 190 nm to 1000 nm, where the substrate is at least semi-transparent. A response light received from the substrate and the feature is measured to obtain a response spectrum of the response light. Further, a complex-valued response due to the feature and the substrate is computed and both the response spectrum and the complex-valued response are used in determining the physical parameter. The response light is reflected light, transmitted light or a combination of the two. The complex-valued response typically includes a complex reflectance amplitude, a complex transmittance amplitude or both. The apparatus and method take into account the effects of vertical and lateral coherence length and are well suited for examining adjacent features.
(FR)
L'invention concerne un dispositif et un procédé permettant de déterminer un paramètre physique d'élément sur un substrat par illumination du substrat avec une lumière incidente couvrant une gamme de longueurs d'onde incidentes ??, par exemple entre 190 nm et 1000 nm, le substrat étant au moins semi-transparent. Une lumière de réponse reçue depuis le substrat et l'élément est mesurée, ce qui donne un spectre de réponse correspondant à la lumière de réponse. Ensuite, une réponse à valeur complexe propre à l'élément et au substrat est calculée, et on utilise à la fois le spectre et la réponse à valeur complexe pour déterminer le paramètre physique. La lumière de réponse est une lumière réfléchie, transmise ou une combinaison des deux. En général, la réponse à valeur complexe présente une amplitude de réflectance complexe, une amplitude de transmittance complexe ou bien les deux à la fois. Le dispositif et le procédé considérés tiennent compte des effets de la longueur de cohérence verticale et latérale et ils sont appropriés à l'examen d'éléments adjacents.
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