Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

1. WO2005001459 - APPAREIL A SONDE MICRO-USINEE ET LEURS PROCEDES DE FABRICATION ET D'UTILISATION POUR LA CARACTERISATION D'UNE VOIE D'ECOULEMENT DE FLUIDE ET LE MAPPAGE D'UNE CHARGE EMPRISONNEE, DANS UN ECHANTILLON SE TROUVANT SUR UN SUBSTRAT

Numéro de publication WO/2005/001459
Date de publication 06.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/016651
Date du dépôt international 27.05.2004
CIB
G01N 27/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
27Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques
G01Q 30/14 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
30Moyens auxiliaires destinés à assister ou améliorer les techniques ou les appareils à sonde à balayage, p.ex. dispositifs d’affichage ou de traitement de données
08Moyens pour établir ou réguler des conditions ambiantes souhaitées au sein d'une enceinte d'échantillonnage
12avec fluide
14avec liquide
G01Q 60/30 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
60Types particuliers de microscopie à sonde à balayage SPM ou appareils à cet effet; Composants essentiels de ceux-ci
24Microscopie à forces atomiques AFM ou appareils à cet effet, p.ex. sondes AFM
30Microscopie à mesure de potentiel à balayage
G01Q 60/40 2010.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
60Types particuliers de microscopie à sonde à balayage SPM ou appareils à cet effet; Composants essentiels de ceux-ci
24Microscopie à forces atomiques AFM ou appareils à cet effet, p.ex. sondes AFM
38Sondes, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, p.ex. supports
40Sondes conductrices
CPC
B23H 9/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
9Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
G01N 27/002
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
002by investigating the work function voltage
G01Q 30/14
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
08Means for establishing or regulating a desired environmental condition within a sample chamber
12Fluid environment
14Liquid environment
G01Q 60/30
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
60Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
24AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
30Scanning potential microscopy
G01Q 60/40
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
60Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
24AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
38Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
40Conductive probes
Déposants
  • THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAM [US/US]; 3003 S. State Street Ann Arbor, MI 48109, US (AllExceptUS)
  • GIANCHANDANI, Yogesh, B. [US/US]; US (UsOnly)
  • CHU, Larry, L.; US (UsOnly)
  • SALVAGANAPATHY, Ponnambalani [IN/US]; US (UsOnly)
  • TAKAHATA, Kenichi [JP/US]; US (UsOnly)
  • SHOHET, Juda, L. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • GIANCHANDANI, Yogesh, B.; US
  • CHU, Larry, L.; US
  • SALVAGANAPATHY, Ponnambalani; US
  • TAKAHATA, Kenichi; US
  • SHOHET, Juda, L.; US
Mandataires
  • SYROWIK, David, R. ; Brooks Kushman 1000 Town Center Twenty Second Floor Southfield, MI 48075, US
Données relatives à la priorité
60/476,38106.06.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MICROMACHINED PROBE APPARATUS AND METHODS FOR MAKING AND USING SAME TO CHARACTERIZE LIQUID IN A FLUIDIC CHANNEL AND MAP EMBEDDED CHARGE IN A SAMPLE ON A SUBSTRATE
(FR) APPAREIL A SONDE MICRO-USINEE ET LEURS PROCEDES DE FABRICATION ET D'UTILISATION POUR LA CARACTERISATION D'UNE VOIE D'ECOULEMENT DE FLUIDE ET LE MAPPAGE D'UNE CHARGE EMPRISONNEE, DANS UN ECHANTILLON SE TROUVANT SUR UN SUBSTRAT
Abrégé
(EN)
A micromachined probe apparatus and methods for making and using same to characterize liquid in a fluidic channel and map embedded charge in a sample on a substrate are provided. The probe apparatus includes an integrated scanning tip and a dither actuation mechanism. The actuation is achieved using a bent-beam electrothermal actuator, and the probe tip is insulated from the actuator with a wide isolation gap. The device is fabricated by a modified micro electro-discharge machining process which allows electrical isolation within the micromachined structure using an epoxy plug. The apparatus may be used to measure changes in the external surface potential of a microfluidic channel as a function of varying pH of liquid inside the channel. The apparatus also may be used to map embedded charge in a thin layer on a substrate, showing it to be suitable for monitoring microelectronics manufacturing processes.
(FR)
L'invention concerne un appareil à sonde micro-usinée et ses procédés de fabrication et d'utilisation pour la caractérisation de liquide dans une voie de fluide et pour le mappage de charge emprisonnée, dans un échantillon se trouvant sur un substrat. L'appareil à sonde comprend une pointe de balayage intégrée et un mécanisme d'actionnement de tremblement. L'actionnement est obtenu au moyen d'un actionneur électrothermique à faisceau dévié, et la pointe de la sonde est isolée de l'actionneur par une espace isolant large. Ce dispositif est fabriqué au moyen d'un procédé d'usinage à micro-électrodécharge modifiée, permettant l'isolation électrique dans la structure micro-usinée au moyen d'un bouchon d'époxy. Cet appareil peut être utilisé pour mesurer les changement de potentiel de la surface externe d'une voie à microfluide en fonction du pH variable de liquide dans la voie. Cet appareil peut également être utilisé pour le mappage de charge emprisonnée, dans une couche mince se trouvant sur un substrat, convenant à la surveillance de procédés de fabrication d'équipement microélectronique.
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international