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Paramétrages

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1. WO2005001408 - TRANSDUCTEUR DE PRESSION

Numéro de publication WO/2005/001408
Date de publication 06.01.2005
N° de la demande internationale PCT/US2004/016145
Date du dépôt international 24.05.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 28.04.2005
CIB
G01L 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
G01L 19/04 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
19Détails ou accessoires des appareils pour la mesure de la pression permanente ou quasi permanente d'un milieu fluent dans la mesure où ces détails ou accessoires ne sont pas particuliers à des types particuliers de manomètres
04Moyens pour compenser les effets des variations de température
CPC
G01L 19/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
04Means for compensating for effects of changes of temperature ; , i.e. other than electric compensation
G01L 19/147
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
14Housings
147Details about the mounting of the sensor to support or covering means
G01L 9/0052
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0051using variations in ohmic resistance
0052of piezoresistive elements
Déposants
  • DYNISCO INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 38 Forge Parkway Franklin, MA 02038, US (AllExceptUS)
  • BARRON, Leo [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • BARRON, Leo; US
Mandataires
  • RADER, Michael, N.; Wolf, Greenfield & Sacks, P.C. 600 Atlantic Avenue Boston, MA 02210, US
  • BECHER, Thomas, C.; c/o Hoffmann Eitle Arabellastr. 4 D-81925 Munich, DE
Données relatives à la priorité
10/464,96719.06.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PRESSURE TRANSDUCER WITH STRUCTURAL TEMPERATURE AND MISALIGNMENT COMPENSATION
(FR) TRANSDUCTEUR DE PRESSION
Abrégé
(EN)
One aspect is a pressure transducer package (4) comprising a housing, a diaphragm (20), a support (32) disposed in the housing and a sensing element (30) disposed in the housing between the diaphragm and the support so that the pressure from the environment acts on the diaphragm to compress the sensing element. The sensing element comprises at least one substrate having a coefficient of thermal expansion greater than 4 ppm/k , e.g. sappphire. In another aspect, the sensing element comprises at least one substrate formed of a first material, e.g. sappphire and an epitaxial layer of a second material e.g silicon or gallium nitride having a lower coefficient of thermal expansion. In a further aspect, the support (32) abuts the housing at a spherically-shaped interface (52,64) to compensate for misalignment between the support (32) and the sensing element (30) to ensure that the sensing element is evenly loaded.
(FR)
Dans un mode de réalisation de l'invention, un ensemble transducteur de pression comprend un logement, un diaphragme, un support disposé dans le logement et un élément de détection disposé dans le logement entre le diaphragme et le support, de sorte que la pression de l'environnement agit sur le diaphragme, de manière à comprimer l'élément de détection. L'élément de détection comprend au moins un substrat comprenant un coefficient d'expansion thermique supérieur à 4 ppm/k. Dans un autre mode de réalisation l'élément de détection comprend au moins un substrat fabriqué dans une première matière et une couche épitaxiale d'une seconde matière présentant un coefficient d'expansion thermique plus faible. Dans un autre aspect de l'invention, le support entre en butée avec le logement sur une interface formée de manière sphérique, de manière à compenser le décalage entre le support et l'élément de détection, ceci permettant d'assurer la charge de l'élément de détection.
Également publié en tant que
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