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1. (WO2004102610) GENERATION DE PLASMA UNIFORMEMENT REPARTI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/102610    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/013053
Date de publication : 25.11.2004 Date de dépôt international : 27.04.2004
CIB :
C23C 14/34 (2006.01), C23C 14/35 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : ZOND, INC. [US/US]; 137A High Street, Mansfield, MA 02048 (US) (Tous Sauf US).
CHISTYAKOV, Roman [US/US]; (US)
Inventeurs : CHISTYAKOV, Roman; (US)
Mandataire : RAUSCHENBACH, Kurt; P.O. Box 387, Bedford, MA 01730 (US)
Données relatives à la priorité :
10/249,774 06.05.2003 US
Titre (EN) GENERATION OF UNIFORMLY-DISTRIBUTED PLASMA
(FR) GENERATION DE PLASMA UNIFORMEMENT REPARTI
Abrégé : front page image
(EN)Methods and apparatus for generating uniformly-distributed plasma are described. A plasma generator according to the invention includes a cathode assembly (204) that is positioned adjacent to an anode (216) and forming a gap (220) there between. A gas source (228) supplies a volume of feed gas and/or a volume of excited atoms to the gap between the cathode assembly and the anode. A power supply (202) generates an electric field across the gap between the cathode assembly and the anode. The electric field ionizes the volume of feed gas and/or the volume of excited atoms that is supplied to the gap, thereby creating a plasma in the gap.
(FR)La présente invention concerne des procédés et un appareil de génération de plasma uniformément réparti. Un générateur de plasma de cette invention comprend un ensemble cathode placé à côté d'une anode, formant un écartement entre les deux. Une source de gaz fournit un volume de gaz d'alimentation et/ou un volume d'atomes excités à cet écartement entre l'ensemble cathode et l'anode. Une alimentation électrique génère un champ électrique à travers l'écartement entre l'ensemble cathode et l'anode. Ce champ électrique ionise le volume de gaz d'alimentation et/ou le volume des atomes excités alimentés dans cet écartement, créant ainsi un plasma dans cet écartement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)