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1. (WO2004102230) SYSTEME AXICON A POLARISATION OPTIMISEE ET SYSTEME D'ECLAIRAGE POUR SYSTEME DE PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE COMPORTANT UN TEL SYSTEME AXICON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/102230    N° de la demande internationale :    PCT/EP2003/009613
Date de publication : 25.11.2004 Date de dépôt international : 29.08.2003
CIB :
G02B 5/00 (2006.01), G02B 27/09 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
FÜRTER, Gerhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SINGER, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MAUL, Manfred [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KOHL, Alexander [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FIOLKA, Damian [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : FÜRTER, Gerhard; (DE).
SINGER, Wolfgang; (DE).
MAUL, Manfred; (DE).
KOHL, Alexander; (DE).
FIOLKA, Damian; (DE)
Mandataire : RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER & PART NER; Kronenstrasse 30, 70174 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
103 22 375.4 13.05.2003 DE
Titre (EN) POLARIZATION-OPTIMIZED AXICON SYSTEM, AND AN ILLUMINATING SYSTEM FOR MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION SYSTEM HAVING SUCH AN AXICON SYSTEM
(FR) SYSTEME AXICON A POLARISATION OPTIMISEE ET SYSTEME D'ECLAIRAGE POUR SYSTEME DE PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE COMPORTANT UN TEL SYSTEME AXICON
Abrégé : front page image
(EN)An axicon system (250) which can be used, for example, in an illuminating system for a microlithographic projection exposure apparatus serves the purpose of transforming an entrance light distribution striking its entrance surface (255) into an exit light distribution emerging from its exit surface (258) by radial redistribution of light intensity. It has an optical axis (3), a first axicon element (251) with a first axicon surface (255), and at least one second axicon element (252) with a second axicon surface (258). Furthermore, at least one intermediate surface (256, 257) arranged between the first and the second axicon surface is provided which can likewise be designed as an axicon surface, for example. The distribution of the axicon functionality over a plurality of surfaces permits the design of polarization-maintaining axicon systems.
(FR)Cette invention se rapporte à un système axicon (250) qui peut être utilisé notamment dans un système d'éclairage pour appareil d'exposition par projection microlithographique et qui sert à transformer une distribution de lumière entrante venant porter sa surface d'entrée (255) en une distribution de lumière sortante sortant de sa surface de sortie (258) par redistribution radiale de l'intensité lumineuse. Ce système axicon comporte un axe optique (3), un premier élément axicon (251) présentant une première surface axicon (255) et au moins un second élément axicon (252) présentant une seconde surface axicon (258). On prévoit en outre au moins une surface intermédiaire (256, 257) qui est située entre la première et la seconde surface axicon et qui peut également être conçue comme surface axicon, par exemple. La distribution de la fonction axicon sur plusieurs surfaces permet la conception de systèmes axicon maintenant la polarisation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)