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1. (WO2004099866) DISPOSITIF DE CORRECTION DE DEFAUTS ET PROCEDE DE CORRECTION DE DEFAUTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/099866    N° de la demande internationale :    PCT/JP2004/006199
Date de publication : 18.11.2004 Date de dépôt international : 28.04.2004
CIB :
G02F 1/13 (2006.01)
Déposants : OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 43-2, Hatagaya 2-chome Shibuya-ku, Tokyo 1510072 (JP) (Tous Sauf US).
HORIUCHI, Kazuhito [JP/JP]; (US Seulement).
AKIYAMA, Shuji [JP/JP]; (US Seulement).
ABE, Masahiro [JP/JP]; (US Seulement).
ONISHI, Takaaki [JP/JP]; (US Seulement)
Inventeurs : HORIUCHI, Kazuhito; .
AKIYAMA, Shuji; .
ABE, Masahiro; .
ONISHI, Takaaki;
Mandataire : SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE 7-2, Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2003-132298 09.05.2003 JP
2003-144095 21.05.2003 JP
Titre (EN) DEFECT CORRECTION DEVICE AND DEFECT CORRECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF DE CORRECTION DE DEFAUTS ET PROCEDE DE CORRECTION DE DEFAUTS
(JA) 欠陥修正装置及びその欠陥修正方法
Abrégé : front page image
(EN)A defect correction device includes: a defect detection section (41) for detecting a defect generated on a substrate by comparison with a reference image; an inhibit area setting section (39) for setting an inhibit area (KA) of correction for a defect on a drive circuit element (23) and wires (21, 22); a correction area setting section (44) for setting a defective portion excluding a portion related to the inhibit area (KA) and a defect not related to the inhibit area (KA) as a correction area; a priority setting section (5) for setting priority of correction order for the correction areas; and a correction section (31) for correcting the defects according to the priority. A defect correction method for the device is also disclosed.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de correction de défauts comprenant : une section de détection de défauts (41) permettant de détecter un défaut généré sur un substrat par comparaison avec une image de référence ; une section de réglage de zone d'inhibition (39) permettant de régler une zone d'inhibition (KA) de correction pour un défaut sur un élément de circuit d'entraînement (23) et des fils (21, 22) ; une section de réglage de zone de correction (44) afin de régler une partie défectueuse hormis une partie relative à la zone d'inhibition (KA) et un défaut qui n'est pas relatif à la zone d'inhibition (KA) en tant que zone de correction ; une section de réglage de priorité (5) afin de régler la priorité de l'ordre de correction des zones de correction ; et une section de correction (31) afin de corriger les défauts selon la priorité. L'invention se rapporte aussi à un procédé de correction de défauts pour le dispositif.
(JA)本発明は、参照画像との比較により基板に生じた欠陥を検出する欠陥検出部(41)と、駆動回路素子(23)上や配線(21,22)上にある欠陥に対して修正の禁止領域(KA)を設定する禁止領域設定部39と、禁止領域(KA)に掛かる部分を除く欠陥部分と、禁止領域(KA)に関わらない欠陥と、を修正領域として設定する修正領域設定部(44)と、修正領域に対して修正順の優先度を設定する優先度設定部(5)と、優先度に従って欠陥を修正する修正部(31)とで構成される欠陥修正装置及びその欠陥修正方法である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)