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1. WO2004099086 - CARTOUCHE FILTRANTE POUR FLUIDES AFIN DE TRAITER LA SURFACE DU SUBSTRAT D'UN DISPOSITIF ELECTRONIQUE

Numéro de publication WO/2004/099086
Date de publication 18.11.2004
N° de la demande internationale PCT/JP2004/006190
Date du dépôt international 28.04.2004
CIB
B01J 43/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
JPROCÉDÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES, p.ex. CATALYSE OU CHIMIE DES COLLOÏDES; APPAREILLAGE APPROPRIÉ
43Echange d'ions amphotère, c. à d. utilisant des échangeurs d'ions comportant des groupes anioniques et cationiques; Utilisation d'une substance comme échangeur d'ions amphotère; Traitement d'une substance en vue d'améliorer ses propriétés amphotères d'échange d'ions
B01J 45/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
JPROCÉDÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES, p.ex. CATALYSE OU CHIMIE DES COLLOÏDES; APPAREILLAGE APPROPRIÉ
45Echange d'ions dans lequel se forme un complexe ou un chélate; Utilisation d'une substance comme échangeur d'ions formant des complexes ou des chélates; Traitement d'une substance en vue d'améliorer ses propriétés d'échange d'ions formant des complexes ou des chélates
B01J 47/12 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
JPROCÉDÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES, p.ex. CATALYSE OU CHIMIE DES COLLOÏDES; APPAREILLAGE APPROPRIÉ
47Procédés d'échange d'ions en général; Appareillage à cet effet
12caractérisés par l'emploi d'une substance échangeur d'ions sous forme de rubans, de filaments, de fibres ou de feuilles, p.ex. sous forme de membranes
B08B 3/14 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
08NETTOYAGE
BNETTOYAGE EN GÉNÉRAL; PROTECTION CONTRE LA SALISSURE EN GÉNÉRAL
3Nettoyage par des procédés impliquant l'utilisation ou la présence d'un liquide ou de vapeur d'eau
04Nettoyage impliquant le contact avec un liquide
10avec traitement supplémentaire du liquide ou de l'objet en cours de nettoyage, p.ex. par la chaleur, par l'électricité, par des vibrations
14Enlèvement des déchets, p.ex. des étiquettes, se trouvant dans le liquide de nettoyage
C02F 1/42 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
02TRAITEMENT DE L'EAU, DES EAUX RÉSIDUAIRES, DES EAUX OU BOUES D'ÉGOUT
FTRAITEMENT DE L'EAU, DES EAUX RÉSIDUAIRES, DES EAUX OU BOUES D'ÉGOUT
1Traitement de l'eau, des eaux résiduaires ou des eaux d'égout
42par échange d'ions
G03F 7/30 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
26Traitement des matériaux photosensibles; Appareillages à cet effet
30Dépouillement selon l'image utilisant des moyens liquides
CPC
B01D 2323/30
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
2323Details relating to membrane preparation
30Cross-linking
B01D 2323/38
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
2323Details relating to membrane preparation
38Graft polymerization
B01D 61/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
61Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis, ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
B01D 67/0093
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
67Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
0081After-treatment of organic or inorganic membranes
0093Chemical modification
B01J 2220/62
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
2220Aspects relating to sorbent materials
50Aspects relating to the use of sorbent or filter aid materials
62In a cartridge
B01J 43/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
43Amphoteric ion-exchange, i.e. using ion-exchangers having cationic and anionic groups; Use of material as amphoteric ion-exchangers; Treatment of material for improving their amphoteric ion-exchange properties
Déposants
  • EBARA CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • KOMATSU, Makoto [JP]/[JP] (UsOnly)
  • FUJIWARA, Kunio [JP]/[JP] (UsOnly)
  • HASHIMOTO, Yukio [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • KOMATSU, Makoto
  • FUJIWARA, Kunio
  • HASHIMOTO, Yukio
Mandataires
  • SHAMOTO, Ichio
Données relatives à la priorité
2003-12857907.05.2003JP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) FILTER CARTRIDGE FOR FLUID FOR TREATING SURFACE OF ELECTRONIC DEVICE SUBSTRATE
(FR) CARTOUCHE FILTRANTE POUR FLUIDES AFIN DE TRAITER LA SURFACE DU SUBSTRAT D'UN DISPOSITIF ELECTRONIQUE
Abrégé
(EN)
It is the purpose of the present invention to provide filter cartridges which can suitably be utilized in purifying chemical fluids for treating the surface of an electronic device substrate to be used in the semiconductor industry, particularly fluids containing a basic compound such as ammonia and an ammonium salt, or hydrofluoric acid (HF). The filter cartridges relating to the present invention which are used in removing metallic impurities contained in a chemical fluid for treating the surface of an electronic device substrate by treating the chemical fluid, is characterized by having a filter material incorporated therein, into which functional groups compatible with the existing morphology of the metallic impurities to be removed are incorporated in compliance with the constituents of the chemical fluid to be treated and the types of the metallic impurities to be removed.
(FR)
L'invention concerne des cartouches filtrantes pouvant être utilisées convenablement dans la purification de fluides chimiques afin de traiter la surface d'un substrat de dispositif électronique à utiliser dans l'industrie des semi-conducteurs, notamment des fluides contenant un composé basique tel de l'hydroxyde d'ammonium et un sel d'ammonium, ou un acide hydrofluorique. Ces cartouches filtrantes, qui sont utilisées pour ôter des impuretés métalliques contenues dans un fluide chimique afin de traiter la surface d'un substrat de dispositif électronique par traitement du fluide chimique, se caractérisent par le fait qu'un matériau filtrant est incorporé dedans, et par le fait que des groupes fonctionnels compatibles avec la morphologie actuelle des impuretés métalliques à ôter sont incorporés conformément aux constituants du fluide chimique à traiter et aux types des impuretés métalliques à ôter.
Également publié en tant que
US2007007196
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