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1. WO2004099063 - CAPTEUR DE RAYONNEMENT, TRANCHE, MODULE CAPTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION DUDIT CAPTEUR DE RAYONNEMENT

Numéro de publication WO/2004/099063
Date de publication 18.11.2004
N° de la demande internationale PCT/EP2004/004841
Date du dépôt international 06.05.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 01.03.2005
CIB
G01J 5/10 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5Pyrométrie des radiations
10en utilisant des détecteurs électriques de radiations
G01K 7/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
KMESURE DES TEMPÉRATURES; MESURE DES QUANTITÉS DE CHALEUR; ÉLÉMENTS THERMOSENSIBLES NON PRÉVUS AILLEURS
7Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur
02utilisant des éléments thermo-électriques, p.ex. thermocouples
G01K 7/22 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
KMESURE DES TEMPÉRATURES; MESURE DES QUANTITÉS DE CHALEUR; ÉLÉMENTS THERMOSENSIBLES NON PRÉVUS AILLEURS
7Mesure de la température basée sur l'utilisation d'éléments électriques ou magnétiques directement sensibles à la chaleur
16utilisant des éléments résistifs
22l'élément étant une résistance non linéaire, p.ex. une thermistance
CPC
G01J 5/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
G01J 5/0225
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
0225Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
G01J 5/023
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
0225Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
023Particular leg structure or construction or shape; Nanotubes
G01J 5/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
04Casings ; Mountings
G01J 5/046
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
04Casings ; Mountings
046Materials; Selection of thermal materials
G01J 5/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
10using electric radiation detectors
12using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
Déposants
  • PERKINELMER OPTOELECTRONICS GMBH & CO. KG [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • HAUSNER, Martin [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SCHILZ, Jürgen [DE]/[DE] (UsOnly)
  • PLOTZ, Fred [DE]/[DE] (UsOnly)
  • KARAGÖZOGLU, Hermann [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • HAUSNER, Martin
  • SCHILZ, Jürgen
  • PLOTZ, Fred
  • KARAGÖZOGLU, Hermann
Mandataires
  • BEETZ & PARTNER
Données relatives à la priorité
103 20 357.507.05.2003DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) STRAHLUNGSSENSOR, WAFER, SENSORMODUL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES STRAHLUNGSSENSORS
(EN) RADIATION SENSOR, WAFER, SENSOR MODULE, AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF A RADIATION SENSOR
(FR) CAPTEUR DE RAYONNEMENT, TRANCHE, MODULE CAPTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION DUDIT CAPTEUR DE RAYONNEMENT
Abrégé
(DE)
Ein Strahlungssensor (10) hat einen Träger (1), ein in einer Oberfläche des Trägers (1) ausgebildetes Gesenk (2), das eine Vertiefung oder ein Durchloch sein kann, ein über dem Gesenk (2), vorzugsweise auf einer das Gesenk (2) überspannenden Membran (3), ausgebildetes Sensorelement (4, 4a, 4b), und elektrische Kontakte (5, 5a, 5b) für das Sensorelement (4, 4a, 4b). Das Gesenk (2) hat in der Oberfläche des Trägers (1) eine ganz oder bereichsweise verrundete Kontur (2a).
(EN)
Disclosed is a radiation sensor (10) comprising a support (1), a lowered area (2) that is embodied within a surface of the support (1) and can represent a depression or a through hole, a sensor element (4, 4a, 4b) which is embodied above the lowered area (2), preferably on a membrane (3) spanning the lowered area (2), and electrical contacts (5, 5a, 5b) for the sensor element (4, 4a, 4b). The lowered area (2) has an entirely or partly rounded contour (2a) within the surface of the support (1).
(FR)
Capteur de rayonnement (10) qui possède un support (1), une cavité (2) formée dans une surface du support (1) et pouvant être un évidement ou un trou traversant, un élément capteur (4, 4a, 4b) formé sur la cavité (2), de préférence sur une membrane (3) tendue au-dessus de la cavité (2), et des contacts électriques (5, 5a, 5b) pour l'élément capteur (4, 4a, 4b). Au niveau de la surface du support (1), la cavité (2) possède un contour entièrement ou partiellement arrondi (2a).
Également publié en tant que
US2007029632
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