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1. WO2004097437 - STRUCTURES DE TEST D'ENCOMBREMENT REDUIT AYANT DES CAPACITES AMELIOREES

Numéro de publication WO/2004/097437
Date de publication 11.11.2004
N° de la demande internationale PCT/US2004/012069
Date du dépôt international 19.04.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 12.01.2005
CIB
G01R 31/28 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31Dispositions pour tester les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour tests électriques caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
28Test de circuits électroniques, p.ex. à l'aide d'un traceur de signaux
CPC
G01R 31/2831
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
282Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
2831Testing of materials or semi-finished products, e.g. semiconductor wafers or substrates
G01R 31/2858
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
2851Testing of integrated circuits [IC]
2855Environmental, reliability or burn-in testing
2856Internal circuit aspects, e.g. built-in test features; Test chips; Measuring material aspects, e.g. electro migration [EM]
2858Measuring of material aspects, e.g. electro-migration [EM], hot carrier injection
G01R 31/2884
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
2851Testing of integrated circuits [IC]
2884using dedicated test connectors, test elements or test circuits on the IC under test
Déposants
  • ADVANCED MICRO DEVICES, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • KIM, Hyeon-Seag [KR]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • KIM, Hyeon-Seag
Mandataires
  • COLLOPY, Daniel, R.
  • PICKER, Madeline, M.
Données relatives à la priorité
10/423,19725.04.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SPACE-SAVING TEST STRUCTURES HAVING IMPROVED CAPABILITIES
(FR) STRUCTURES DE TEST D'ENCOMBREMENT REDUIT AYANT DES CAPACITES AMELIOREES
Abrégé
(EN)
A space-saving test structure includes a core metal line (112), at least one extrusion detection line (110, 114) and an extrusion monitoring segment (130). The core metal line (112) has a 'non-linear configuration' and is capable of conducting current for an electromigration test, an isothermal test, and extrusion monitoring. The at least one extrusion detection line (110, 114) is situated adjacent to the core metal line (112). The extrusion monitoring segment (130) is electrically connected to the at least one extrusion detection line (110, 114). The extrusion monitoring segment (130) is adapted to determine whether an extrusion occurs in the core metal line (112) by measuring a resistance between the core metal line (112) and the at least one extrusion detection line (110, 114).
(FR)
La présente invention a trait à une structure de test à encombrement réduit comportant une ligne métallique d'âme (112), au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114) et un segment de contrôle d'extrusion (130). La ligne métallique d'âme (112) présente une configuration non linéaire et est apte à la conduction de courant pour un test d'électromigration, un test isotherme, et un contrôle d'extrusion. Ladite au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114) est située adjacente à la ligne métallique d'âme (112). Le segment de contrôle d'extrusion (130) est en liaison électrique avec ladite au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114). Le segment de contrôle d'extrusion (130) est apte à la détermination de la survenance d'une extrusion dans la ligne métallique d'âme (112) par la mesure d'une résistance entre la ligne métallique d'âme (112) et ladite au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114).
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