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1. (WO2004097437) STRUCTURES DE TEST D'ENCOMBREMENT REDUIT AYANT DES CAPACITES AMELIOREES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/097437    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/012069
Date de publication : 11.11.2004 Date de dépôt international : 19.04.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    12.01.2005    
CIB :
G01R 31/28 (2006.01)
Déposants : ADVANCED MICRO DEVICES, INC. [US/US]; One AMD Place, Mail Stop 68, P.O. Box 3453, Sunnyvale, CA 94088-3453 (US) (Tous Sauf US).
KIM, Hyeon-Seag [KR/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : KIM, Hyeon-Seag; (US)
Mandataire : COLLOPY, Daniel, R.; One AMD Place, Mail Spop 68, P.O. Box 3453, Sunnyvale, CA 94088-3453 (US).
PICKER, Madeline, M.; Brookes Batchellor LLP, 102-108 Clerkenwell Road, London EC1M 5SA (GB)
Données relatives à la priorité :
10/423,197 25.04.2003 US
Titre (EN) SPACE-SAVING TEST STRUCTURES HAVING IMPROVED CAPABILITIES
(FR) STRUCTURES DE TEST D'ENCOMBREMENT REDUIT AYANT DES CAPACITES AMELIOREES
Abrégé : front page image
(EN)A space-saving test structure includes a core metal line (112), at least one extrusion detection line (110, 114) and an extrusion monitoring segment (130). The core metal line (112) has a 'non-linear configuration' and is capable of conducting current for an electromigration test, an isothermal test, and extrusion monitoring. The at least one extrusion detection line (110, 114) is situated adjacent to the core metal line (112). The extrusion monitoring segment (130) is electrically connected to the at least one extrusion detection line (110, 114). The extrusion monitoring segment (130) is adapted to determine whether an extrusion occurs in the core metal line (112) by measuring a resistance between the core metal line (112) and the at least one extrusion detection line (110, 114).
(FR)La présente invention a trait à une structure de test à encombrement réduit comportant une ligne métallique d'âme (112), au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114) et un segment de contrôle d'extrusion (130). La ligne métallique d'âme (112) présente une configuration non linéaire et est apte à la conduction de courant pour un test d'électromigration, un test isotherme, et un contrôle d'extrusion. Ladite au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114) est située adjacente à la ligne métallique d'âme (112). Le segment de contrôle d'extrusion (130) est en liaison électrique avec ladite au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114). Le segment de contrôle d'extrusion (130) est apte à la détermination de la survenance d'une extrusion dans la ligne métallique d'âme (112) par la mesure d'une résistance entre la ligne métallique d'âme (112) et ladite au moins une ligne de détection d'extrusion (110, 114).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)