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1. WO2004097431 - MULTI-CAPTEUR MICRO-USINE A SIX DEGRES DE LIBERTE

Numéro de publication WO/2004/097431
Date de publication 11.11.2004
N° de la demande internationale PCT/US2004/012901
Date du dépôt international 27.04.2004
CIB
G01C 19/56 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
G01P 15/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
PMESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
G01P 15/125 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
PMESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02en ayant recours aux forces d'inertie
08avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
125au moyen de capteurs à capacité
CPC
G01C 19/5719
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
G01P 15/125
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
125by capacitive pick-up
G01P 15/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
18in two or more dimensions
G01P 2015/082
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
0805being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
0808for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
082for two degrees of freedom of movement of a single mass
Déposants
  • ANALOG DEVICES, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
Inventeurs
  • GEEN, John, A.
Mandataires
  • LEBOVICI, Victor, B.
Données relatives à la priorité
10/463,65317.06.2003US
60/466,08328.04.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SIX DEGREE-OF-FREEDOM MICRO-MACHINED MULTI-SENSOR
(FR) MULTI-CAPTEUR MICRO-USINE A SIX DEGRES DE LIBERTE
Abrégé
(EN)
A six degree-of-freedom micro-machined multi-sensor (100) that provides 3-axes of acceleration sensing, and 3-axes of angular rate sensing, in a single multi-sensor device. The six degree-of-freedom multi-sensor device includes a first multi-sensor substructure (103) providing 2-axes of acceleration sensing and 1-axis of angular rate sensing, and a second multi-sensor substructure (105) providing a third axis of acceleration sensing, and second and third axes of angular rate sensing. The first and second multi-sensor substructures are implemented on respective substrates within the six degree-of-freedom multi-sensor device.
(FR)
L'invention concerne un multi-capteur à six degrés de liberté qui fournit 3-axes de capteurs d'accélération, et 3-axes de capteurs de vitesse angulaire, dans un dispositif multi-capteur simple. Ce dispositif multi-capteur à six degrés de liberté comporte une première sous-structure de multi-capteur fournissant 2-axes de capteurs d'accélération et 1-axe de capteurs de vitesse angulaire, et une seconde sous-structure de multi-capteur fournissant un troisième axe de capteurs d'accélération et un deuxième et troisième axes de capteurs de vitesse angulaire. Les première et seconde sous-structures de multi-capteur sont mises en oeuvre sur les substrats correspondants dans le dispositif multi-capteur à six degrés de liberté.
Également publié en tant que
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