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1. (WO2004097078) APPAREIL ET PROCEDE DE TRAITEMENT ELECTROLYTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/097078    N° de la demande internationale :    PCT/JP2004/005766
Date de publication : 11.11.2004 Date de dépôt international : 22.04.2004
CIB :
C25F 3/00 (2006.01), C25F 7/00 (2006.01)
Déposants : EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho, Ohta-ku, Tokyo 1448510 (JP) (Tous Sauf US).
KOBATA, Itsuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TOMA, Yasushi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MORI, Yuzo [JP/JP]; (JP)
Inventeurs : KOBATA, Itsuki; (JP).
TOMA, Yasushi; (JP).
MORI, Yuzo; (JP)
Mandataire : WATANABE, Isamu; GOWA Nishi-Shinjuku 4F, 5-8, Nishi-Shinjuku 7-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
Données relatives à la priorité :
2003-124236 28.04.2003 JP
Titre (EN) ELECTROLYTIC PROCESSING APPARATUS AND METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE TRAITEMENT ELECTROLYTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides an electrolytic processing apparatus which can suppress the growth of a gas, which is inevitably generated during electrochemical processing, into bubbles thereby effectively preventing the formation of pits in a surface of a workpiece. The electrolytic processing apparatus includes an electrode section (44) including processing electrodes (76) and feeding electrodes (78) both having a diameter of not more than 1 mm, a substrate holder (42) for holding a workpiece (W), a power source (46) for applying a voltage between the processing electrodes and the feeding electrodes, a fluid supply section (72) for supplying a fluid between the electrode section and the workpiece, and a drive section (56, 62) for moving the electrode section and the workpiece relative to each other in such a manner that the processing electrodes pass every point in a processing surface of the workpiece.
(FR)L'invention concerne un appareil de traitement électrolytique capable de supprimer la croissance d'un gaz, inévitablement produit lors d'un traitement électrochimique, en bulles, ce qui empêche de manière efficace la formation de puits à la surface d'une pièce à travailler. L'appareil de traitement électrolytique comporte une section électrodes (44) qui comprend des électrodes de traitement (76) et des électrodes d'alimentation (78), leur diamètre n'excédant pas 1 mm, un support de substrat (42) qui retient la pièce à travailler (W), une source d'alimentation (46) qui exerce une tension entre les électrodes de traitement et celles d'alimentation, une section alimentation en fluide (72) qui fournit un fluide entre la section électrodes et la pièce à travailler, et une section entraînement (56, 62) qui déplace la section électrodes et la pièce à travailler l'une par rapport à l'autre, les électrodes de traitement passant ainsi tous les points dans une surface de traitement de la pièce à travailler.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)