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1. (WO2004095553) PROCEDE POUR PRODUIRE UNE COUCHE CONTRAINTE SUR UN SUBSTRAT ET STRUCTURE EN COUCHES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/095553    N° de la demande internationale :    PCT/DE2004/000780
Date de publication : 04.11.2004 Date de dépôt international : 15.04.2004
CIB :
H01L 21/20 (2006.01), H01L 21/265 (2006.01)
Déposants : FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH [DE/DE]; Wilhelm-Johnen-Strasse, 52425 Jülich (DE) (Tous Sauf US).
MANTL, Siegfried [AT/DE]; (DE) (US Seulement).
HOLLÄNDER, Bernhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : MANTL, Siegfried; (DE).
HOLLÄNDER, Bernhard; (DE)
Représentant
commun :
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH; Fachbereich Patente, 52425 Jülich (DE)
Données relatives à la priorité :
103 18 284.5 22.04.2003 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VERSPANNTEN SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT UND SCHICHTSTRUKTUR
(EN) METHOD FOR PRODUCING A STRAINED LAYER ON A SUBSTRATE AND CORRESPONDING LAYER STRUCTURE
(FR) PROCEDE POUR PRODUIRE UNE COUCHE CONTRAINTE SUR UN SUBSTRAT ET STRUCTURE EN COUCHES
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Schichtstruktur umfassend eine verspannte Schicht auf einem Substrat mit den Schritten: Erzeugung eines Defektbereichs in einem zu der zu verspannenden Schicht benachbarten Schicht, Relaxation mindestens einer zu der verspannenden Schicht benachbarten Schicht. Der Defektbereich wird insbesondere im Substrat erzeugt. Es können epitaktisch weitere Schichten angeordnet werden. Derartig gebildete Schichtstrukturen sind vorteilhaft geeignet für verschiedenartigste Bauelemente.
(EN)The invention relates to a method for producing a layer structure comprising a strained layer on a substrate. The inventive method comprises the steps of producing a defect area in a layer adjoining the layer to be strained, and relaxing at least one layer adjoining the layer to be strained. The defect area is especially produced in the substrate. Additional layers can be epitactically grown. Layer structures so produced are especially suitable for producing various types of components.
(FR)L'invention concerne un procédé servant à produire une structure en couches comprenant une couche contrainte sur un substrat. Le procédé selon l'invention comprend les étapes suivantes : production d'une zone de défaut dans une couche voisine de la couche à contraindre et relaxation d'au moins une couche voisine de la couche à contraindre. La zone de défaut est notamment générée dans le substrat. Il est possible d'ajouter d'autres couches par épitaxie. Les structures en couches ainsi formées conviennent pour les composants les plus divers.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)