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1. WO2004095548 - DISPOSITIF DE PLATINE ET DISPOSITIF D'EXPOSITION

Numéro de publication WO/2004/095548
Date de publication 04.11.2004
N° de la demande internationale PCT/JP2004/001765
Date du dépôt international 18.02.2004
CIB
G03F 7/20 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20Exposition; Appareillages à cet effet
CPC
G03F 7/70725
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70691Handling of masks or wafers
70716Stages
70725control
H01J 2237/31766
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
317Processing objects on a microscale
3175Lithography
31761Patterning strategy
31766Continuous moving of wafer
H01J 37/3045
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
304Controlling tubes by information coming from the objects ; or from the beam; , e.g. correction signals
3045Object or beam position registration
Déposants
  • 株式会社アドバンテスト ADVANTEST CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 上野 雅史 UENO, Masashi [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • 上野 雅史 UENO, Masashi
Mandataires
  • 龍華 明裕 RYUKA, Akihiro
Données relatives à la priorité
2003-11452418.04.2003JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) STAGE DEVICE AND EXPOSURE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE PLATINE ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) ステージ装置及び露光装置
Abrégé
(EN)
A stage device for drivingly moving a driven body, comprising a movable slider moving while carrying the driven body thereon, a movable slider driving part driving the movable slider, a feed forward compensator calculating a drive amount by the movable slider driving part at times when the movable slider is moved from a start position to a target position based on the start position of the movable slider and the target position to which the movable slider is to be moved, a movable slider position sensor detecting the position of the movable slider, and a feedback compensator calculating the drive amount by the movable slider drive part based on the target position to which the movable slider is to be moved and the position of the movable slider detected by the movable slider position sensor at the times when the movable slider is moved from the start position to the target position.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de platine pour déplacer un corps entraîné, ce dispositif comprenant les éléments suivants : un élément coulissant se déplaçant en portant le corps entraîné ; un organe d'entraînement entraînant l'élément coulissant ; un compensateur aval calculant une valeur d'entraînement à exécuter par l'organe d'entraînement entraînant l'élément coulissant lorsque ce dernier est déplacé d'une position initiale vers une position cible, sur la base de la position initiale de l'élément coulissant et de la position cible vers laquelle il est déplacé ; un capteur de position de l'élément coulissant ; un compensateur de retour calculant la valeur d'entraînement à exécuter par l'organe d'entraînement de l'élément coulissant, sur la base de la position cible vers laquelle l'élément coulissant est déplacé et de la position de l'élément coulissant détectée par le capteur de position de l'élément coulissant lorsque ce dernier est déplacé de la position initiale vers la position cible.
(JA)
 被駆動体を駆動して移動させるステージ装置であって、被駆動体を載置させて移動する可動スライダと、可動スライダを駆動する可動スライダ駆動部と、可動スライダの出発位置、及び可動スライダが移動すべき目標位置に基づいて、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻における可動スライダ駆動部による駆動量を算出するフィードフォアワード補償器と、可動スライダの位置を検出する可動スライダ位置センサと、可動スライダが出発位置から目標位置まで移動するときの各時刻において、可動スライダが移動すべき目標位置、及び可動スライダ位置センサが検出した可動スライダの位置に基づいて、可動スライダ駆動部による駆動量を算出するフィードバック補償器とを備える。
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